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微尺度器件及旋转干气密封微间隙内流体流动问题的研究

摘要第1-7页
Abstract第7-11页
第1章 引言第11-25页
   ·微机电系统(MEMS)简介第11-20页
   ·宏观机电系统涉及到的微尺度流动问题第20-24页
   ·本文开展的主要工作第24-25页
第2章 微尺度流动理论第25-34页
   ·基于连续介质的流动模型第25-32页
   ·基于分子的流动模型第32-33页
   ·液体流动问题第33-34页
第3章 微尺度通道外特性实验第34-46页
   ·Hagen-Poiseuille方程第34-35页
   ·微通道外特性实验第35-43页
   ·实验结果及分析第43-46页
第4章 微尺度通道数值计算第46-73页
   ·微通道内不可压缩流体的流动第46-59页
   ·数值计算方法第59-61页
   ·微通道内流体流动三维数值计算第61-71页
   ·小结第71-73页
第5章 微射流放大器第73-93页
   ·射流元件的分类第73-74页
   ·微射流放大器工作原理第74-75页
   ·偏向型微射流放大器三维流场数值模拟第75-91页
   ·小结第91-93页
第6章 干气密封第93-107页
   ·干气密封工作原理第93-94页
   ·螺旋槽干气密封内部流动近似算法第94-99页
   ·螺旋槽干气密封三维微间隙流场数值模拟第99-105页
   ·小结第105-107页
第7章 结论第107-109页
附录A 微圆管外特性实验压力降计算及分析第109-113页
附录B 微圆管外特性实验数据第113-116页
附录C 微圆管流动与传热模型分析第116-124页
附录D 微圆管外特性实验平均阻力系数的确定第124-126页
参考文献第126-133页
项目来源第133-134页
作者攻读博士学位期间所发表的论文第134-135页
致谢第135页

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