微尺度器件及旋转干气密封微间隙内流体流动问题的研究
摘要 | 第1-7页 |
Abstract | 第7-11页 |
第1章 引言 | 第11-25页 |
·微机电系统(MEMS)简介 | 第11-20页 |
·宏观机电系统涉及到的微尺度流动问题 | 第20-24页 |
·本文开展的主要工作 | 第24-25页 |
第2章 微尺度流动理论 | 第25-34页 |
·基于连续介质的流动模型 | 第25-32页 |
·基于分子的流动模型 | 第32-33页 |
·液体流动问题 | 第33-34页 |
第3章 微尺度通道外特性实验 | 第34-46页 |
·Hagen-Poiseuille方程 | 第34-35页 |
·微通道外特性实验 | 第35-43页 |
·实验结果及分析 | 第43-46页 |
第4章 微尺度通道数值计算 | 第46-73页 |
·微通道内不可压缩流体的流动 | 第46-59页 |
·数值计算方法 | 第59-61页 |
·微通道内流体流动三维数值计算 | 第61-71页 |
·小结 | 第71-73页 |
第5章 微射流放大器 | 第73-93页 |
·射流元件的分类 | 第73-74页 |
·微射流放大器工作原理 | 第74-75页 |
·偏向型微射流放大器三维流场数值模拟 | 第75-91页 |
·小结 | 第91-93页 |
第6章 干气密封 | 第93-107页 |
·干气密封工作原理 | 第93-94页 |
·螺旋槽干气密封内部流动近似算法 | 第94-99页 |
·螺旋槽干气密封三维微间隙流场数值模拟 | 第99-105页 |
·小结 | 第105-107页 |
第7章 结论 | 第107-109页 |
附录A 微圆管外特性实验压力降计算及分析 | 第109-113页 |
附录B 微圆管外特性实验数据 | 第113-116页 |
附录C 微圆管流动与传热模型分析 | 第116-124页 |
附录D 微圆管外特性实验平均阻力系数的确定 | 第124-126页 |
参考文献 | 第126-133页 |
项目来源 | 第133-134页 |
作者攻读博士学位期间所发表的论文 | 第134-135页 |
致谢 | 第135页 |