多波长干涉法在纳米尺度测量中的应用
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 第1章 引言 | 第8-14页 |
| ·纳米测量技术研究现状及进展 | 第8-10页 |
| ·非光学方法 | 第8-9页 |
| ·光学方法 | 第9-10页 |
| ·光学干涉仪概述 | 第10-12页 |
| ·光学纳米测量亟待解决的问题及发展趋势 | 第12-13页 |
| ·论文主要研究内容 | 第13-14页 |
| 第2章 多波长干涉测量法原理 | 第14-23页 |
| ·干涉测量基本原理 | 第14页 |
| ·多光束干涉中反射率之间的关系 | 第14-16页 |
| ·光学干涉扩展深度测量范围的方法 | 第16-20页 |
| ·白光干涉 | 第17-18页 |
| ·多波长干涉 | 第18-20页 |
| ·光强反射率的校正与测量结果的计算 | 第20-23页 |
| 第3章 硬盘磁头飞行高度测量系统的结构设计 | 第23-30页 |
| ·硬盘磁头飞行高度测量的条件 | 第23-24页 |
| ·测试系统结构框图 | 第24页 |
| ·系统主要元器件的选择 | 第24-27页 |
| ·光源与光电探测器 | 第24-26页 |
| ·模数转换与数据采集 | 第26-27页 |
| ·光电信号检测电路的设计 | 第27-30页 |
| ·系统光电检测电路的设计原则 | 第27-28页 |
| ·系统光电检测电路的设计 | 第28-30页 |
| 第4章 影响测量精度的主要因素与处理方法 | 第30-37页 |
| ·光电信号检测电路中的噪声与处理方法 | 第30-32页 |
| ·噪声来源 | 第30页 |
| ·噪声处理 | 第30-32页 |
| ·减小振动噪声对测量结果影响的方法 | 第32-34页 |
| ·光源非单色性对测量的影响与补偿 | 第34页 |
| ·表面反射相位移对测量精度的影响与误差补偿 | 第34-36页 |
| ·其它因素的影响 | 第36-37页 |
| 第5章 测量系统的软件设计 | 第37-46页 |
| ·软件开发平台 | 第37-38页 |
| ·自动测试程序流程 | 第38-39页 |
| ·数据采集卡的设置 | 第39页 |
| ·数字滤波器设计 | 第39-40页 |
| ·动态链接库DLL 文件的定制 | 第40-46页 |
| ·DLL 的创建 | 第40-41页 |
| ·DllMain 函数 | 第41-42页 |
| ·DLL 函数和变量的导出 | 第42-46页 |
| 第6章 试验结果与误差分析 | 第46-52页 |
| ·误差分析 | 第47-50页 |
| ·时域动态测量结果 | 第50-51页 |
| ·相关线性回归分析 | 第51-52页 |
| 总结与展望 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-56页 |
| 致谢 | 第56-57页 |
| 附录 | 第57页 |
