| 第一章 绪论 | 第1-27页 |
| ·金刚石的晶体结构及分类 | 第9-12页 |
| ·金刚石的晶体结构 | 第9-10页 |
| ·金刚石的分类 | 第10-12页 |
| ·金刚石的性质及应用领域 | 第12-17页 |
| ·金刚石的性质 | 第12-16页 |
| ·金刚石的应用领域 | 第16-17页 |
| ·CVD 金刚石膜的研究进展 | 第17-19页 |
| ·CVD 金刚石膜的主要制备方法 | 第19-23页 |
| ·热丝 CVD 法和 EA-CVD 法 | 第19-21页 |
| ·微波等离子体 CVD 法 | 第21页 |
| ·直流等离子体喷射 CVD 法 | 第21-22页 |
| ·直流热阴极 PCVD 法 | 第22-23页 |
| ·CVD 金刚石膜的表征 | 第23-26页 |
| ·论文的选题及主要研究内容 | 第26-27页 |
| 第二章 CVD 金刚石膜的生长机理 | 第27-38页 |
| ·碳的P-T 相图 | 第28-29页 |
| ·CVD 金刚石膜的化学反应过程 | 第29-31页 |
| ·原子氢(H)的作用 | 第31-33页 |
| ·CVD 金刚石膜的生长模式 | 第33-38页 |
| 第三章 EA-CVD 法制备大尺寸金刚石厚膜 | 第38-66页 |
| ·EA-CVD 金刚石膜沉积设备简介 | 第39-42页 |
| ·热丝材料的选择及排布 | 第42-46页 |
| ·热丝材料的选择 | 第42-44页 |
| ·热丝材料的排布 | 第44-46页 |
| ·CVD 金刚石膜的生长特性 | 第46-55页 |
| ·乙醇对金刚石膜生长的影响 | 第47页 |
| ·偏流对金刚石膜生长的影响 | 第47-48页 |
| ·甲烷流量对金刚石膜生长的影响 | 第48-55页 |
| ·金刚石膜的热应力及裂纹控制 | 第55-59页 |
| ·大尺寸金刚石厚膜的制备 | 第59-64页 |
| ·本章小结 | 第64-66页 |
| 第四章 掺氮金刚石膜的生长特性研究 | 第66-84页 |
| ·实验方法 | 第66-67页 |
| ·氮掺杂对金刚石膜生长特性的影响 | 第67-76页 |
| ·氮掺杂对金刚石膜生长速率的影响 | 第67-68页 |
| ·氮掺杂对金刚石膜结晶性的影响 | 第68-74页 |
| ·氮掺杂对金刚石膜品质的影响 | 第74-76页 |
| ·氮掺杂对金刚石膜内应力的影响 | 第76-83页 |
| ·XRD 分析金刚石膜内应力的方法 | 第76-78页 |
| ·氮掺杂金刚石膜的内应力 | 第78-83页 |
| ·本章小结 | 第83-84页 |
| 第五章 掺氮金刚石膜中氮杂质状态的研究 | 第84-101页 |
| ·Raman 光谱分析金刚石膜中的N-V 型氮杂质 | 第84-86页 |
| ·XPS 谱分析金刚石膜的键合结构 | 第86-90页 |
| ·EPR 谱分析金刚石膜中的NS~0氮杂质 | 第90-99页 |
| ·金刚石膜的顺磁共振吸收原理 | 第90-94页 |
| ·氮掺杂金刚石膜的EPR 谱分析 | 第94-99页 |
| ·本章小结 | 第99-101页 |
| 第六章 本文总结 | 第101-103页 |
| 参考文献 | 第103-118页 |
| 攻读博士期间发表和提交的论文 | 第118-119页 |
| 致谢 | 第119-120页 |
| 中文摘要 | 第120-124页 |
| Abstract | 第124-127页 |