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PZT铁电薄膜的制备与研究

第一章 绪论第1-24页
   ·PZT铁电材料概述第10-13页
     ·PZT铁电材料的结构第10-12页
     ·PZT铁电材料的特性及应用第12-13页
   ·PZT铁电材料研究现状第13-22页
     ·PZT压电陶瓷第13-14页
     ·PZT铁电薄膜研究现状第14-20页
     ·PZT粉体的制备技术及研究现状第20-21页
     ·PZT铁电厚膜第21-22页
   ·本课题研究的主要内容第22-24页
第二章 Sol-gel法制备PZT铁电薄膜与结构、性能研究第24-58页
   ·概述第24-25页
   ·PZT铁电薄膜的制备第25-29页
     ·实验原料与仪器第25-26页
     ·实验过程第26-28页
     ·PZT薄膜的性能表征第28-29页
   ·结果与分析第29-56页
     ·PZT凝胶粉的差热分析第29-30页
     ·PZT薄膜的结晶性能分析第30-35页
     ·PZT薄膜的SEM分析第35-42页
     ·PZT薄膜生长过程机理探讨第42-45页
     ·PZT薄膜生长过程中裂纹控制的机理探讨第45-47页
     ·PZT薄膜的电学性能分析第47-56页
   ·本章主要结论及存在的问题第56-58页
第三章 PZT超细粉体、厚膜的制备初探第58-74页
   ·概述第58页
   ·实验过程第58-61页
     ·Sol-gel法制备PZT粉体第58-60页
     ·PZT粉体在溶胶中的分散与稳定第60-61页
     ·0-3型复合法制备PZT厚膜的工艺过程第61页
   ·结果与分析第61-73页
     ·PZT粉体的XRD分析第62-63页
     ·不同工艺对PZT粉体形貌的影响第63-68页
     ·PZT超细粉体颗粒生长过程探讨第68-71页
     ·不同掺杂粉体对PZT厚膜形貌的影响第71-73页
   ·本章主要结论与存在的问题第73-74页
第四章 主要结论及存在的问题第74-77页
   ·主要结论第74-75页
   ·存在的问题及进一步的研究方向第75-77页
参考文献第77-83页
致谢第83-84页
攻读硕士期间已发表和待发表论文第84页

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