第一章 绪论 | 第1-24页 |
·PZT铁电材料概述 | 第10-13页 |
·PZT铁电材料的结构 | 第10-12页 |
·PZT铁电材料的特性及应用 | 第12-13页 |
·PZT铁电材料研究现状 | 第13-22页 |
·PZT压电陶瓷 | 第13-14页 |
·PZT铁电薄膜研究现状 | 第14-20页 |
·PZT粉体的制备技术及研究现状 | 第20-21页 |
·PZT铁电厚膜 | 第21-22页 |
·本课题研究的主要内容 | 第22-24页 |
第二章 Sol-gel法制备PZT铁电薄膜与结构、性能研究 | 第24-58页 |
·概述 | 第24-25页 |
·PZT铁电薄膜的制备 | 第25-29页 |
·实验原料与仪器 | 第25-26页 |
·实验过程 | 第26-28页 |
·PZT薄膜的性能表征 | 第28-29页 |
·结果与分析 | 第29-56页 |
·PZT凝胶粉的差热分析 | 第29-30页 |
·PZT薄膜的结晶性能分析 | 第30-35页 |
·PZT薄膜的SEM分析 | 第35-42页 |
·PZT薄膜生长过程机理探讨 | 第42-45页 |
·PZT薄膜生长过程中裂纹控制的机理探讨 | 第45-47页 |
·PZT薄膜的电学性能分析 | 第47-56页 |
·本章主要结论及存在的问题 | 第56-58页 |
第三章 PZT超细粉体、厚膜的制备初探 | 第58-74页 |
·概述 | 第58页 |
·实验过程 | 第58-61页 |
·Sol-gel法制备PZT粉体 | 第58-60页 |
·PZT粉体在溶胶中的分散与稳定 | 第60-61页 |
·0-3型复合法制备PZT厚膜的工艺过程 | 第61页 |
·结果与分析 | 第61-73页 |
·PZT粉体的XRD分析 | 第62-63页 |
·不同工艺对PZT粉体形貌的影响 | 第63-68页 |
·PZT超细粉体颗粒生长过程探讨 | 第68-71页 |
·不同掺杂粉体对PZT厚膜形貌的影响 | 第71-73页 |
·本章主要结论与存在的问题 | 第73-74页 |
第四章 主要结论及存在的问题 | 第74-77页 |
·主要结论 | 第74-75页 |
·存在的问题及进一步的研究方向 | 第75-77页 |
参考文献 | 第77-83页 |
致谢 | 第83-84页 |
攻读硕士期间已发表和待发表论文 | 第84页 |