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表面等离子体激元在近场光刻及微纳波导中应用的初步理论研究

摘要第1-5页
Abstract第5-8页
1 绪论第8-11页
   ·表面等离子体激元概要第8-10页
   ·本学位论文的主要内容第10-11页
2 电磁场的数值模拟计算第11-24页
   ·金属介电常数的色散第11-16页
     ·杜鲁德(Drude)模型第11-15页
     ·德拜(Debye)、洛伦茨(Lorentz)模型第15-16页
   ·时域有限差分法(FDTD)第16-21页
     ·FDTD算法的优点第16页
     ·FDTD的数学原理第16-21页
   ·有限元法(FEM)第21-24页
     ·FEM优缺点比较第21-23页
     ·FEM的应用举例第23-24页
3 金属/电介质分界面的等离子体激元第24-41页
   ·单一无限大平面的情形第24-34页
     ·基于SPR的棱镜传感器第30-32页
     ·基于SPR的光纤传感器第32-34页
   ·有限厚度薄板的情形第34-40页
     ·SPs在IMI结构中的耦合共振第37-38页
     ·IMI和MIM结构的色散特性第38-40页
   ·本章总结第40-41页
4 表面等离子体激元用于近场光刻第41-66页
   ·MIM结构中SPs的传输研究第41-45页
   ·MIM结构用于近场光刻研究第45-65页
     ·透射增强的近场光刻第46-59页
     ·SPs干涉的近场光刻第59-63页
     ·深紫外波段近场光刻的初步研究第63-65页
   ·本章总结第65-66页
5 "⊥"型的MIM波导结构研究第66-79页
   ·"⊥"型的MIM波导结构用于滤波第67-73页
   ·"⊥"型MIM波导结构用于动态光控第73-78页
   ·本章小结第78-79页
6 银纳米球粒子波导结构研究第79-93页
   ·金属球粒子的等离子体激元共振第80-82页
     ·偶极等离子体激元共振第80-81页
     ·四极等离子体激元共振第81-82页
   ·银纳米球粒子波导的光学效应第82-91页
     ·单银球粒子波导链的光学效应第83页
     ·双银球粒子波导链的光学效应第83-91页
   ·本章总结第91-93页
结论第93-95页
参考文献第95-108页
创新点摘要第108-109页
博士学位期间发表学术论文情况第109-111页
致谢第111-112页
作者简介第112-113页

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