| <中文摘要> | 第1页 |
| <关键词> | 第3-4页 |
| <英文摘要> | 第4页 |
| <英文关键词> | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-11页 |
| 一 前言 | 第7页 |
| 二 传感技术的发展趋势 | 第7-8页 |
| 三 传感技术的新领域：真空微电子传感器 | 第8-9页 |
| 四 本论文的研究内容 | 第9-11页 |
| 第二章 真空微电子学简介 | 第11-22页 |
| 一 真空微电子学 | 第11-14页 |
| 二 真空微电子学的原理 | 第14-22页 |
| 第三章 真空微电子压力传感器阵列的结构设计 | 第22-32页 |
| 一 工作原理 | 第22-24页 |
| 二 真空微电子压力传感器阵列 | 第24-25页 |
| 三 真空微电子压力传感器阵列的结构设计 | 第25-29页 |
| 四 影响器件的外界因素 | 第29-32页 |
| 第四章 真空微电子压力传感器阵列分立部件的制备 | 第32-44页 |
| 一 光刻掩膜版的设计 | 第32页 |
| 二 真空微电子压力传感器阵列分立部件制备的工艺过程 | 第32-44页 |
| 第五章 真空微电子压力传感器阵列的真空封装 | 第44-54页 |
| 一 硅直接键合 | 第44-47页 |
| 二 阳极键合 | 第47-50页 |
| 三 低熔点玻璃熔融键合 | 第50-51页 |
| 四 真空密封胶法 | 第51-54页 |
| 第六章 真空微电子压力传感器阵列的性能测试 | 第54-59页 |
| 一 真空的获得 | 第54页 |
| 二 真空微电子压力传感器阴极阵列的场发射特性动态测试 | 第54-56页 |
| 三 封装好的真空微电子压力传感器阵列的测试 | 第56-59页 |
| 第七章 薄膜铂电阻温度传感器及其与真空微电子压力传感器阵列的集成 | 第59-63页 |
| 一 薄膜铂电阻温度传感器与VME压力传感器阵列的集成 | 第59-60页 |
| 二 簿膜铂电阻温度传感器的制备工艺及步骤 | 第60-61页 |
| 三 薄膜铂电阻温度特性的测试 | 第61-63页 |
| 第八章 结论与展望 | 第63-65页 |
| 一 基本结论 | 第63页 |
| 二 存在的问题 | 第63-65页 |
| 致 谢 | 第65-66页 |
| <引文> | 第66-70页 |
| 攻读硕士学位期间发表和待发表的论文 | 第70页 |
