直拉硅单晶中氧沉淀的熟化
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-7页 |
| 目录 | 第7-9页 |
| 第一章 前言 | 第9-12页 |
| 第二章 文献综述 | 第12-42页 |
| ·直拉硅单晶中的氧 | 第12-21页 |
| ·硅单晶的制备 | 第12-13页 |
| ·氧的引入 | 第13-15页 |
| ·氧的溶解度 | 第15-17页 |
| ·氧的测量 | 第17-19页 |
| ·氧的扩散 | 第19-21页 |
| ·直拉硅单晶中的氧沉淀 | 第21-42页 |
| ·氧沉淀形成的热力学和动力学 | 第21-23页 |
| ·氧沉淀的形态 | 第23-25页 |
| ·影响氧沉淀的因素 | 第25-35页 |
| ·氧沉淀诱生缺陷的形成及性质 | 第35-37页 |
| ·氧沉淀及其诱生缺陷的表征技术 | 第37-42页 |
| 第三章 实验设备与样品准备 | 第42-48页 |
| ·实验设备 | 第42-46页 |
| ·退火设备 | 第42-44页 |
| ·测试设备 | 第44-46页 |
| ·样品准备 | 第46-48页 |
| 第四章 普通直拉硅中氧沉淀的熟化 | 第48-60页 |
| ·引言 | 第48-49页 |
| ·实验1 | 第49-54页 |
| ·实验样品 | 第49页 |
| ·实验步骤 | 第49-50页 |
| ·实验结果与讨论 | 第50-54页 |
| ·实验2 | 第54-59页 |
| ·实验样品 | 第54页 |
| ·实验步骤 | 第54-55页 |
| ·实验结果与讨论 | 第55-59页 |
| ·结论 | 第59-60页 |
| 第五章 掺氮直拉硅中氧沉淀的熟化 | 第60-69页 |
| ·引言 | 第60-61页 |
| ·实验 | 第61页 |
| ·实验样品 | 第61页 |
| ·实验步骤 | 第61页 |
| ·结果与讨论 | 第61-68页 |
| ·结论 | 第68-69页 |
| 第六章 重掺砷直拉硅中氧沉淀的熟化 | 第69-78页 |
| ·引言 | 第69页 |
| ·实验 | 第69-70页 |
| ·实验样品 | 第69-70页 |
| ·实验步骤 | 第70页 |
| ·结果与讨论 | 第70-77页 |
| ·结论 | 第77-78页 |
| 第七章 总结 | 第78-80页 |
| 参考文献 | 第80-89页 |
| 攻读硕士期间发表的论文 | 第89-90页 |
| 致谢 | 第90页 |
