| 中文摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-17页 |
| ·共振隧穿器件的起源 | 第9-10页 |
| ·共振隧穿器件研究的国内外现状 | 第10-15页 |
| ·本课题的研究背景和意义 | 第15页 |
| ·本论文的研究工作 | 第15-17页 |
| 第二章 共振隧穿器件概述 | 第17-35页 |
| ·RTD 的工作原理 | 第17-21页 |
| ·阱中电子的能量量子化 | 第17-18页 |
| ·共振隧穿效应 | 第18-19页 |
| ·构成RTD 的电流成分 | 第19-20页 |
| ·对JRT的计算 | 第20-21页 |
| ·决定峰值电压VP各种因素 | 第21页 |
| ·RTD 的设计 | 第21-24页 |
| ·RTD 材料结构设计 | 第21-23页 |
| ·RTD 器件的工艺设计 | 第23-24页 |
| ·RTD 的参数及测试 | 第24-26页 |
| ·RTD 的直流参数 | 第24-25页 |
| ·RTD 的频率测量 | 第25-26页 |
| ·RTD 开关时间测量 | 第26页 |
| ·RTD 的物理模型 | 第26-35页 |
| ·RTD 的量子力学基础 | 第26-29页 |
| ·双势垒单势阱结构共振隧穿的两种物理模型 | 第29-33页 |
| ·不同维度下隧穿的特征 | 第33-35页 |
| 第三章 台面型RTD 器件的研制 | 第35-64页 |
| ·台面型RTD 的材料和版图设计 | 第35-42页 |
| ·台面型RTD 的材料设计 | 第35-39页 |
| ·台面型RTD 的版图设计与工艺 | 第39-42页 |
| ·台面型RTD 的测试结果 | 第42-45页 |
| ·不同材料的RTD 测试结果 | 第42-43页 |
| ·不同发射极面积的RTD 测试结果 | 第43-45页 |
| ·台面型RTD 的串联电阻测量 | 第45-54页 |
| ·温度特性法 | 第46-51页 |
| ·外加电阻法 | 第51-52页 |
| ·电桥法 | 第52-53页 |
| ·几种测量方法的比较与分析 | 第53-54页 |
| ·台面型RTD 的可靠性研究 | 第54-64页 |
| ·辐照对器件特性的影响 | 第54-60页 |
| ·电脉冲对器件特性的影响 | 第60-64页 |
| 第四章 台面型RTD 的模拟及电路研究 | 第64-92页 |
| ·ATLAS 模拟软件简介 | 第64-67页 |
| ·ATLAS 的基本方程 | 第65-66页 |
| ·ATLAS 的建模过程 | 第66-67页 |
| ·台面型RTD 的器件模拟和电路模型 | 第67-73页 |
| ·台面型RTD 的器件模拟 | 第67-71页 |
| ·台面型RTD 的电路模型 | 第71-73页 |
| ·由台面型RTD 构成的电路单元 | 第73-82页 |
| ·MOBILE 电路单元 | 第73-78页 |
| ·柔性逻辑门电路单元 | 第78-82页 |
| ·基于RTD 的新型器件结构的模拟 | 第82-92页 |
| 第五章 平面型RTD 器件的模拟和研制 | 第92-104页 |
| ·平面型RTD 的器件模拟 | 第93-98页 |
| ·注硼型平面RTD 的器件模拟 | 第94-96页 |
| ·深刻槽型平面RTD 的直流特性 | 第96-98页 |
| ·注硼平面型RTD 的材料和版图设计 | 第98-102页 |
| ·平面型RTD 的测试结果 | 第102-104页 |
| 第六章 共振隧穿三极管的研制 | 第104-119页 |
| ·肖特基栅型RTT 器件的研制 | 第105-112页 |
| ·肖特基栅型RTT 器件的材料和版图设计 | 第105-106页 |
| ·肖特基栅型RTT 器件的测试 | 第106-109页 |
| ·肖特基栅型RTT 器件模型的建立 | 第109-112页 |
| ·RTD 和HEMT 串联型RTT 器件的研制 | 第112-116页 |
| ·RTD 和HEMT 串联型RTT 材料和版图设计 | 第112-113页 |
| ·RTD 和HEMT 串联型RTT 的测试与讨论 | 第113-116页 |
| ·RTT 器件的统一模型 | 第116-119页 |
| 第七章 总结 | 第119-121页 |
| 参考文献 | 第121-129页 |
| 发表论文和科研情况说明 | 第129-131页 |
| 致谢 | 第131页 |