摘要 | 第1-6页 |
ABSTRACT | 第6-11页 |
第一章 绪论 | 第11-24页 |
·引言 | 第11-12页 |
·气体传感器发展现状 | 第12-15页 |
·气体传感器工作原理 | 第12-14页 |
·气体传感器存在的问题与发展趋势 | 第14-15页 |
·瓦斯传感器的发展现状 | 第15-18页 |
·半导体瓦斯气体传感器 | 第15-16页 |
·催化燃烧式瓦斯气体传感器 | 第16-17页 |
·光纤式瓦斯气体传感器 | 第17页 |
·质量敏感型瓦斯气体传感器 | 第17-18页 |
·敏感材料的研究现状 | 第18-22页 |
·无机敏感材料 | 第18-19页 |
·有机聚合物敏感材料 | 第19页 |
·有机无机复合敏感材料 | 第19-22页 |
·课题来源及主要内容 | 第22-24页 |
第二章 质量敏感型传感器基本工作原理及测试系统组建 | 第24-30页 |
·QCM 传感器工作原理 | 第24-25页 |
·QCM 器件基本结构 | 第24-25页 |
·QCM 传感器工作原理 | 第25页 |
·SAW 器件的基本结构及工作原理 | 第25-27页 |
·SAW 器件基本结构 | 第25-26页 |
·SAW 传感器工作原理 | 第26-27页 |
·QCM 传感器和SAW 传感器气敏测试系统组建 | 第27-28页 |
·QCM 气体传感器测试系统组件 | 第27页 |
·SAW 气体传感器测试系统组建 | 第27-28页 |
·特性参数 | 第28-29页 |
·本章小节 | 第29-30页 |
第三章 聚苯胺/氧化铟复合薄膜QCM 传感器的制备及特性研究 | 第30-42页 |
·PAN/In_2O_3复合薄膜的制备 | 第30-32页 |
·试剂与仪器 | 第30-31页 |
·基片的预处理 | 第31页 |
·PANI/In_2O_3复合薄膜的制备 | 第31-32页 |
·PANI/In_2O_3复合薄膜的表征 | 第32-34页 |
·扫描电镜(SEM)分析 | 第32-33页 |
·紫外—可见光谱分析 | 第33页 |
·红外光谱分析 | 第33-34页 |
·PANI/In_2O_3复合薄膜的 QCM 传感器特性测试与结果讨论 | 第34-39页 |
·PANI/ In_2O_3复合薄膜传感器对 CH_4敏感特性测试 | 第35-37页 |
·PANI/In_2O_3复合薄膜传感器对 CO 敏感特性测试 | 第37-38页 |
·PANI/In_2O_3复合薄膜传感器对 NH_3敏感特性测试 | 第38-39页 |
·温度对 PANI/In_2O_3复合薄膜甲烷敏感特性研究 | 第39-40页 |
·本章小节 | 第40-42页 |
第四章 聚苯胺/氧化钯复合薄膜 QCM 传感器的制备及特性研究 | 第42-50页 |
·PANI/PdO 复合薄膜的制备 | 第42-44页 |
·试剂与仪器 | 第42-43页 |
·基片预处理 | 第43页 |
·PANI/PdO 复合薄膜的制备 | 第43-44页 |
·PANI/PdO 复合薄膜的表征 | 第44-46页 |
·扫描电镜(SEM)分析 | 第44页 |
·紫外--可见光谱分析 | 第44-45页 |
·红外光谱分析 | 第45-46页 |
·PANI/PdO 复合薄膜的甲烷敏感特性测试 | 第46-48页 |
·薄膜在室温下对 CH_4的敏感特性 | 第46-47页 |
·薄膜在高温下对 CH_4的敏感特性 | 第47-48页 |
·本章小节 | 第48-50页 |
第五章 聚苯胺复合薄膜 SAW 传感器的制备及特性研究 | 第50-57页 |
·聚苯胺复合敏感薄膜 SAW 传感器的制备 | 第50-52页 |
·PANI/In_2O_3复合薄膜 SAW 传感器的制备 | 第50-51页 |
·PANI/PdO 复合薄膜 SAW 传感器的制备 | 第51-52页 |
·聚苯胺复合敏感薄膜 SAW 传感器对 CH的敏感特性测试 | 第52-55页 |
·PANI/In_2O_3复合薄膜 SAW 传感器的 CH_4气敏特性测试 | 第52-54页 |
·PANI/PdO 复合薄膜 SAW 传感器的 CH_4气敏特性研究 | 第54-55页 |
·两种复合气敏材料的 QCM 传感器和 SAW 传感器对 CH_4敏感特性对比 | 第55-56页 |
·本章小节 | 第56-57页 |
第六章 结论与展望 | 第57-59页 |
·主要工作总结 | 第57-58页 |
·前景展望 | 第58-59页 |
致谢 | 第59-60页 |
参考文献 | 第60-66页 |
攻读硕士学位期间的研究成果 | 第66-67页 |