基于白光干涉仪三维表面形貌研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第11-17页 |
| 1.1 引言 | 第11-12页 |
| 1.2 课题研究目的和意义 | 第12-13页 |
| 1.3 国内外研究现状 | 第13-15页 |
| 1.3.1 白光干涉测量法的发展现状 | 第13-14页 |
| 1.3.2 图像拼接技术概述 | 第14页 |
| 1.3.3 微观表面形貌表征研究 | 第14-15页 |
| 1.4 本课题主要研究内容 | 第15-17页 |
| 第2章 白光干涉表面微观形貌测量原理及过程 | 第17-23页 |
| 2.1 白光干涉的原理及特性 | 第17-19页 |
| 2.2 白光干涉仪的测量原理及工作原理 | 第19-20页 |
| 2.3 白光干涉仪的测量系统及过程 | 第20-22页 |
| 2.4 本章小结 | 第22-23页 |
| 第3章 微观表面形貌图像拼接方法 | 第23-41页 |
| 3.1 特征检测与匹配 | 第23-34页 |
| 3.1.1 SURF特征 | 第23-26页 |
| 3.1.2 ORB特征 | 第26-29页 |
| 3.1.3 Harris角点 | 第29-30页 |
| 3.1.4 三种算法对比及改进处理 | 第30-34页 |
| 3.2 图像变换模型 | 第34-37页 |
| 3.3 图像融合 | 第37-39页 |
| 3.4 多幅图拼接 | 第39-40页 |
| 3.5 本章小结 | 第40-41页 |
| 第4章 三维表面形貌恢复及表征 | 第41-61页 |
| 4.1 三维表面形貌恢复 | 第41-44页 |
| 4.1.1 三维数据预处理 | 第41-44页 |
| 4.1.2 3D图像 | 第44页 |
| 4.2 点云拼接 | 第44-46页 |
| 4.3 分形表征 | 第46-50页 |
| 4.3.1 分形原理 | 第46-47页 |
| 4.3.2 分形维数 | 第47-48页 |
| 4.3.3 三维分形表征 | 第48-50页 |
| 4.4 功率谱密度表征 | 第50-54页 |
| 4.4.1 功率谱分析 | 第50-51页 |
| 4.4.2 二维功率谱表征 | 第51-54页 |
| 4.5 参数表征 | 第54-60页 |
| 4.5.1 三维参数表征建立 | 第54-55页 |
| 4.5.2 三维参数表征算法 | 第55-60页 |
| 4.6 本章小结 | 第60-61页 |
| 第5章 软件设计及误差分析 | 第61-69页 |
| 5.1 软件设计 | 第61-66页 |
| 5.1.1 软件设计的整体结构 | 第61-62页 |
| 5.1.2 软件界面设计及说明 | 第62-66页 |
| 5.2 误差分析 | 第66-68页 |
| 5.2.1 图像拼接误差分析 | 第66-67页 |
| 5.2.2 数据误差分析 | 第67-68页 |
| 5.3 本章小结 | 第68-69页 |
| 第6章 总结与展望 | 第69-71页 |
| 参考文献 | 第71-77页 |
| 攻读硕士期间已发表的论文 | 第77-79页 |
| 致谢 | 第79页 |
