| 摘要 | 第1-11页 |
| ABSTRACT | 第11-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-22页 |
| ·光栅干涉位移测量技术研究现状及发展趋势 | 第13-19页 |
| ·光栅位移测量的国内外研究现状 | 第13-14页 |
| ·几种光栅干涉位移测量技术 | 第14-18页 |
| ·光栅干涉位移测量的发展趋势 | 第18-19页 |
| ·课题研究的背景及意义 | 第19-20页 |
| ·本文的主要研究内容与工作安排 | 第20-22页 |
| 第二章 双波长单光栅干涉位移测量及外差信号处理技术 | 第22-31页 |
| ·双波长单光栅式干涉测量方法 | 第22-25页 |
| ·基本原理 | 第22-24页 |
| ·主要特点 | 第24-25页 |
| ·关键技术 | 第25页 |
| ·外差干涉信号的处理技术 | 第25-30页 |
| ·频率解调法 | 第25-26页 |
| ·相位解调法 | 第26-29页 |
| ·双波长单光栅测量系统拟采取的信号处理方法 | 第29-30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 第三章 双波长单光栅测量光学系统的建模仿真 | 第31-42页 |
| ·光栅测量光学系统的理论模型 | 第31-35页 |
| ·光栅测量光学系统的描述 | 第31-32页 |
| ·高斯光束的数学模型 | 第32页 |
| ·照射光栅时合光场的数学模型 | 第32-33页 |
| ·光栅透射函数 | 第33-34页 |
| ·接收屏上的衍射光场 | 第34-35页 |
| ·光栅测量光学系统的仿真研究 | 第35-41页 |
| ·仿真参数设置 | 第35-36页 |
| ·振幅光栅产生的外差干涉场 | 第36-38页 |
| ·相位光栅产生的外差干涉场 | 第38-39页 |
| ·外差干涉测量信号 | 第39-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 第四章 光学系统设计及激光器性能对测量精度的影响 | 第42-52页 |
| ·光学系统总体设计 | 第42-43页 |
| ·光学系统重要器件的选择 | 第43-44页 |
| ·激光器 | 第43页 |
| ·分光器 | 第43-44页 |
| ·偏振分光棱镜 | 第44页 |
| ·计量光栅 | 第44页 |
| ·激光器性能非理想对测量精度的影响分析 | 第44-51页 |
| ·激光器波长不稳定对测量精度的影响 | 第44-46页 |
| ·激光器椭圆极化偏振对测量精度的影响 | 第46-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 第五章 基于FPGA 和锁相环的整小数相位测量相结合的数字相位测量方法 | 第52-62页 |
| ·数字相位测量系统的基本原理 | 第52-53页 |
| ·锁相环混频降频技术 | 第53-55页 |
| ·锁相环的基本原理 | 第53页 |
| ·混频器的基本结构 | 第53-54页 |
| ·锁相环混频的实现方法 | 第54页 |
| ·锁相环混频的特点 | 第54-55页 |
| ·脉冲填充测量相位的方法 | 第55-56页 |
| ·整小数相位相结合的相位测量方法 | 第56-61页 |
| ·整数相位的测量方法 | 第56-57页 |
| ·小数相位的测量方法 | 第57-60页 |
| ·整小数相位测量的实现及其特点 | 第60-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 第六章 相位测量系统性能指标的测试实验及误差分析 | 第62-75页 |
| ·相位差测量的技术指标 | 第62页 |
| ·相位测试实验的具体方案 | 第62-65页 |
| ·总体的测试方案 | 第62-63页 |
| ·预定标准相位差的产生 | 第63-64页 |
| ·整小数一体化相位测量的数字化模块 | 第64-65页 |
| ·拟进行的相位测量验证实验 | 第65页 |
| ·验证实验的结果数据及误差分析 | 第65-73页 |
| ·小数相位测量验证实验 | 第65-71页 |
| ·整数相位测量验证实验 | 第71-72页 |
| ·实验总结及误差分析 | 第72-73页 |
| ·本章小结 | 第73-75页 |
| 第七章 结束语 | 第75-77页 |
| ·全文工作总结 | 第75-76页 |
| ·研究展望 | 第76-77页 |
| 致谢 | 第77-78页 |
| 参考文献 | 第78-83页 |
| 作者在学期间取得的学术成果 | 第83页 |