| 摘要 | 第1-10页 |
| ABSTRACT | 第10-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-17页 |
| ·课题研究背景与意义 | 第11-12页 |
| ·研究背景 | 第11页 |
| ·研究意义 | 第11-12页 |
| ·三轴微加速度计的研究现状与趋势 | 第12-15页 |
| ·三轴微加速度计的国外研究现状 | 第12-15页 |
| ·三轴微加速度计的国内研究现状 | 第15页 |
| ·微加速度计的发展趋势 | 第15页 |
| ·论文主要研究内容 | 第15-17页 |
| 第二章 单片集成三轴微加速度计的结构设计 | 第17-30页 |
| ·单片集成三轴微加速度计总体结构与工作原理 | 第17-20页 |
| ·总体结构设计 | 第17-18页 |
| ·基本工作原理 | 第18-20页 |
| ·加速度计灵敏度与模态的理论分析 | 第20-26页 |
| ·加速度计的性能指标 | 第20页 |
| ·单片集成三轴微加速度计的灵敏度分析 | 第20-25页 |
| ·加速度计的模态频率分析 | 第25-26页 |
| ·加速度计结构尺寸的确定与性能分析 | 第26-29页 |
| ·加速度计结构尺寸的确定 | 第26-27页 |
| ·加速度计性能的理论与仿真分析 | 第27-29页 |
| ·本章小结 | 第29-30页 |
| 第三章 单片集成三轴微加速度计的制作工艺研究 | 第30-41页 |
| ·主要工艺流程 | 第30-33页 |
| ·硅结构加工工艺 | 第30-32页 |
| ·玻璃基板加工工艺 | 第32-33页 |
| ·加速度计的键合封装 | 第33页 |
| ·工艺的关键问题与解决方案 | 第33-39页 |
| ·湿法腐蚀工艺参数的确定 | 第33-34页 |
| ·凸角补偿 | 第34-39页 |
| ·加速度计样片与结构参数 | 第39-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 第四章 单片集成三轴微加速度计的测试 | 第41-50页 |
| ·微加速度计的模态测试 | 第41-43页 |
| ·模态测试方法 | 第41-42页 |
| ·模态测试系统 | 第42-43页 |
| ·模态测试结果与分析 | 第43页 |
| ·微加速度计的信号检测 | 第43-49页 |
| ·基于AD7745 的电容检测电路设计 | 第44-45页 |
| ·基于 VC++ 的上位机设计 | 第45-46页 |
| ·信号测试系统 | 第46-47页 |
| ·信号测试结果与分析 | 第47-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 第五章 单片集成三轴微加速度计的误差分析与改进设计 | 第50-59页 |
| ·加工误差与控制方法 | 第50-53页 |
| ·双面光刻对准误差与控制方法 | 第50页 |
| ·湿法腐蚀制造误差与控制方法 | 第50-51页 |
| ·玻璃基板制造误差与控制方法 | 第51-53页 |
| ·算法的误差分析 | 第53-54页 |
| ·阻尼分析与设计 | 第54-58页 |
| ·滑膜阻尼 | 第55页 |
| ·压膜阻尼 | 第55-56页 |
| ·加速度计的阻尼分析与设计 | 第56-58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 第六章 总结与展望 | 第59-61页 |
| ·全文总结 | 第59页 |
| ·工作展望 | 第59-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-66页 |
| 作者在学期间取得的学术成果 | 第66页 |