超低温真空下二维转台的热控设计方法研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-19页 |
| 1.1 课题背景和研究意义 | 第9-10页 |
| 1.2 热控技术的研究现状 | 第10-13页 |
| 1.3 超精密测量领域中温度控制方法研究现状 | 第13-15页 |
| 1.4 超精密测量领域中温度控制算法研究现状 | 第15-17页 |
| 1.5 本文主要研究内容 | 第17-19页 |
| 第2章 热控系统方案设计与仿真计算 | 第19-30页 |
| 2.1 引言 | 第19页 |
| 2.2 热控系统方案设计 | 第19-27页 |
| 2.2.1 热控系统总体方案设计 | 第19-20页 |
| 2.2.2 二维转台加热功率分析计算 | 第20-22页 |
| 2.2.3 被动热控系统方案设计 | 第22-24页 |
| 2.2.4 主动热控系统方案设计 | 第24-27页 |
| 2.3 热控系统方案热仿真分析 | 第27-29页 |
| 2.3.1 被动热控系统热仿真分析 | 第27-28页 |
| 2.3.2 主动热控系统热仿真分析 | 第28-29页 |
| 2.4 本章小结 | 第29-30页 |
| 第3章 温度控制算法分析 | 第30-41页 |
| 3.1 引言 | 第30页 |
| 3.2 Smith预估控制算法 | 第30-35页 |
| 3.2.1 原理分析 | 第30-31页 |
| 3.2.2 算法仿真 | 第31-35页 |
| 3.3 模糊PID控制算法 | 第35-38页 |
| 3.3.1 原理分析 | 第35-37页 |
| 3.3.2 算法仿真 | 第37-38页 |
| 3.4 Smith预估和模糊PID算法仿真对比 | 第38-40页 |
| 3.5 本章小结 | 第40-41页 |
| 第4章 温度控制系统设计 | 第41-53页 |
| 4.1 引言 | 第41页 |
| 4.2 温度控制系统下位机设计 | 第41-51页 |
| 4.2.1 温度采集单元设计 | 第41-47页 |
| 4.2.2 加热控制单元设计 | 第47-49页 |
| 4.2.3 Smith预估控制算法程序设计 | 第49-51页 |
| 4.3 温度控制系统上位机设计 | 第51-52页 |
| 4.4 本章小结 | 第52-53页 |
| 第5章 系统实验与分析 | 第53-68页 |
| 5.1 引言 | 第53页 |
| 5.2 超低温单元验证实验 | 第53-62页 |
| 5.2.1 超低温实验环境搭建 | 第53-54页 |
| 5.2.2 超低温系统建模实验 | 第54-58页 |
| 5.2.3 PID性能调试 | 第58-60页 |
| 5.2.4 温度控制精度实验 | 第60-61页 |
| 5.2.5 温度稳定性实验 | 第61-62页 |
| 5.2.6 控制分辨力实验 | 第62页 |
| 5.3 常温加热验证实验 | 第62-67页 |
| 5.3.1 常温实验平台搭建 | 第62-63页 |
| 5.3.2 常温系统建模实验分析 | 第63-64页 |
| 5.3.3 温度控制精度实验 | 第64-66页 |
| 5.3.4 温度稳定性实验 | 第66-67页 |
| 5.4 本章小结 | 第67-68页 |
| 结论 | 第68-70页 |
| 参考文献 | 第70-76页 |
| 致谢 | 第76页 |
