| Abstract | 第5页 |
| 摘要 | 第6-9页 |
| Chapter 1 INTRODUCTION | 第9-11页 |
| 1.1 Introduction | 第9页 |
| 1.2 Significance | 第9页 |
| 1.3 Outlines of Thesis | 第9-11页 |
| Chapter 2 HUMIDITY SENSOR AND BLACK PHOSPHOROUS | 第11-25页 |
| 2.1 Motivation and Background | 第11页 |
| 2.2 Humidity Sensing | 第11-12页 |
| 2.3 Classical Humidity Measurements | 第12-14页 |
| 2.3.1 Hair Hygrometer | 第12页 |
| 2.3.2 Psychrometer | 第12-13页 |
| 2.3.3 LiCl or Lithium Chloride Dew Point Sensors | 第13-14页 |
| 2.3.4 Chilled Mirror Hygrometers | 第14页 |
| 2.4 Miniaturized Humidity | 第14-17页 |
| 2.4.1 Resistive Humidity Sensors | 第15页 |
| 2.4.2 Thermal Conductivity Humidity Sensors | 第15-16页 |
| 2.4.3 Optical Humidity Sensors | 第16页 |
| 2.4.4 Gravimetric Humidity sensors | 第16-17页 |
| 2.4.5 Capacitive Humidity Sensors | 第17页 |
| 2.5 Properties of Humidity Sensor | 第17-19页 |
| 2.5.1 Sensitivity | 第17-18页 |
| 2.5.2 Response time | 第18-19页 |
| 2.5.3 Accuracy | 第19页 |
| 2.5.4 Uniformity | 第19页 |
| 2.5.5 Repeatability | 第19页 |
| 2.5.6 Long-term Stability | 第19页 |
| 2.6 Black Phosphorus | 第19-25页 |
| 2.6.1 Background | 第20页 |
| 2.6.2 Properties of Black Phosphorous | 第20-21页 |
| 2.6.3 Electronic Structure | 第21-23页 |
| 2.6.4 Electronic Properties | 第23页 |
| 2.6.5 Stability of Black Phosphorous | 第23-25页 |
| Chapter 3 METHODOLOGY | 第25-33页 |
| 3.1 Designing of Humidity Sensor | 第25-26页 |
| 3.2 Fabrication Process | 第26-30页 |
| 3.2.1 Cleaning of Wafer | 第26页 |
| 3.2.2 Sputtering | 第26-27页 |
| 3.2.3 Spin-Coating of Photoresist | 第27-28页 |
| 3.2.4 Lithography Patterning | 第28-29页 |
| 3.2.5 Etching | 第29页 |
| 3.2.6 Dicing | 第29-30页 |
| 3.3 Preparing and Deposition of Black Phosphorous | 第30-33页 |
| 3.3.1 Deposition of Black Phosphorous | 第31-33页 |
| Chapter 4 TESTS AND RESULTS | 第33-43页 |
| 4.1 Apparatus of Test | 第33页 |
| 4.2 Properties Tests | 第33-37页 |
| 4.2.1 Sensitivity | 第33-35页 |
| 4.2.2 Hysteresis | 第35页 |
| 4.2.3 Response time and Recovery time | 第35-37页 |
| 4.3 Stability tests | 第37-43页 |
| 4.3.1 Short Term Stability Test | 第37-40页 |
| 4.3.2 Long Term Stability Test | 第40-43页 |
| CHAPTER 5 CONCLUSION AND FUTURE WORKS | 第43-45页 |
| 5.1 Conclusion | 第43页 |
| 5.2 Future Works | 第43-45页 |
| Acknowledgement | 第45-47页 |
| Dedication | 第47-49页 |
| References | 第49-51页 |
| Figures | 第51-53页 |
| Author's Bibliography | 第53页 |
