| Table of contents | 第7-10页 |
| 摘要 | 第10-12页 |
| Abstract | 第12-14页 |
| 第1章 绪论 | 第15-26页 |
| 1.1 磨料水射流加工技术研究现状 | 第15-19页 |
| 1.1.1 概述 | 第15页 |
| 1.1.2 磨料水射流加工机理研究现状 | 第15-18页 |
| 1.1.3 微细磨料水射流 | 第18-19页 |
| 1.2 超声加工技术研究现状 | 第19-24页 |
| 1.2.1 超声加工设备组成 | 第20页 |
| 1.2.2 超声振动场中超声波振动波型和波速 | 第20-22页 |
| 1.2.3 超声加工技术的应用范围 | 第22-24页 |
| 1.3 目前研究中存在的问题 | 第24页 |
| 1.4 本文研究的目的和意义 | 第24页 |
| 1.5 本文的主要研究内容 | 第24-26页 |
| 第2章 超声振动辅助微细磨料水射流冲蚀机理实验研究 | 第26-50页 |
| 2.1 超声振动辅助微细磨料水射流冲蚀单晶硬脆材料实验研究 | 第26-34页 |
| 2.1.1 冲蚀实验条件 | 第26-29页 |
| 2.1.2 冲蚀参数对材料去除率的影响规律 | 第29-32页 |
| 2.1.3 单晶硅材料正交实验 | 第32-33页 |
| 2.1.4 单晶硅材料去除率的线性回归分析 | 第33-34页 |
| 2.2 超声振动辅助微细磨料水射流冲蚀多晶硬脆材料实验研究 | 第34-43页 |
| 2.2.1 冲蚀实验条件 | 第34-37页 |
| 2.2.2 冲蚀参数对材料去除率的影响 | 第37-42页 |
| 2.2.3 氧化铝和氮化铝陶瓷材料去除率的线性回归分析 | 第42-43页 |
| 2.3 超声振动对微细磨料水射流冲蚀过程影响的对比实验研究 | 第43-49页 |
| 2.3.1 超声振动对微细磨料水射流冲蚀单晶硅影响的对比实验研究 | 第44-47页 |
| 2.3.2 超声振动对微细磨料水射流冲蚀多晶硬脆材料影响的对比实验研究 | 第47-49页 |
| 2.4 本章小结 | 第49-50页 |
| 第3章 超声振动动力工作台的研制 | 第50-70页 |
| 3.1 微细磨料水射流切割系统 | 第50-51页 |
| 3.2 超声振动动力工作台的研制 | 第51-56页 |
| 3.2.1 超声波发生器的选择 | 第51-52页 |
| 3.2.2 超声换能器的选择 | 第52页 |
| 3.2.3 超声变幅杆的设计 | 第52-56页 |
| 3.3 超声变幅杆的有限元分析 | 第56-65页 |
| 3.3.1 指数形过渡段阶梯形复合超声变幅杆的有限元分析 | 第56-61页 |
| 3.3.2 多段式复合形变超声幅杆的有限元分析 | 第61-64页 |
| 3.3.3 超声振动工作台测试 | 第64-65页 |
| 3.4 负压夹持机构 | 第65-69页 |
| 3.5 本章小结 | 第69-70页 |
| 第4章 超声振动辅助微细磨料水射流切割加工实验研究 | 第70-90页 |
| 4.1 超声振动辅助微细磨料水射流切割单晶硅实验研究 | 第70-80页 |
| 4.1.1 实验条件 | 第70页 |
| 4.1.2 各工艺参数对单晶硅切割深度的影响规律 | 第70-75页 |
| 4.1.3 各工艺参数对单晶硅切口宽度的影响规律 | 第75-80页 |
| 4.2 超声振动辅助微细磨料水射流切割多晶硬脆材料工艺参数优化 | 第80-84页 |
| 4.2.1 实验条件 | 第80-81页 |
| 4.2.2 极差分析及结果的优化 | 第81-82页 |
| 4.2.3 超声振动辅助微细磨料水射流切割氧化铝陶瓷切割模型的建立 | 第82-84页 |
| 4.3 超声振动对微细磨料水射流切割加工影响的对比实验研究 | 第84-88页 |
| 4.4 本章小结 | 第88-90页 |
| 结论与展望 | 第90-93页 |
| 参考文献 | 第93-98页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及奖励 | 第98-99页 |
| 致谢 | 第99-100页 |
| 学位论文评阅及答辩情况表 | 第100页 |
