基于双电容的LC谐振式无线无源压力传感器的研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第13-27页 |
| 1.1 研究背景 | 第13-16页 |
| 1.2 无线无源压力传感器分类 | 第16-18页 |
| 1.3 LC无线无源压力传感器研究现状 | 第18-24页 |
| 1.4 论文研究意义与研究内容 | 第24-27页 |
| 1.4.1 研究意义 | 第24-25页 |
| 1.4.2 研究内容 | 第25-27页 |
| 第二章 双电容式无线无源压力传感器的设计与仿真 | 第27-49页 |
| 2.1 双电容式压力传感器理论分析 | 第27-33页 |
| 2.1.1 双电容式压力传感器提出 | 第27-28页 |
| 2.1.2 双电容式压力传感器电学检测模型 | 第28-30页 |
| 2.1.3 双电容式压力传感器信号读取的影响因素 | 第30-33页 |
| 2.2 双电容结构仿真设计 | 第33-40页 |
| 2.2.1 双电容结构设计 | 第33-39页 |
| 2.2.2 不同温度下双电容结构性能 | 第39-40页 |
| 2.3 片上方形电感设计仿真 | 第40-45页 |
| 2.3.1 片上电感等效模型及参数提取 | 第41-43页 |
| 2.3.2 片上电感参数确定 | 第43-45页 |
| 2.4 双电容式压力传感器参数性能设计 | 第45-48页 |
| 2.4.1 双电容式压力传感器基片选择 | 第45-46页 |
| 2.4.2 双电容式压力传感器结构参数 | 第46页 |
| 2.4.3 双电容式压力传感器设计性能 | 第46-48页 |
| 2.5 本章小节 | 第48-49页 |
| 第三章 双电容式无线无源压力传感器的制备 | 第49-75页 |
| 3.1 传感器工艺设计 | 第49-50页 |
| 3.2 单片工艺流程实现 | 第50-57页 |
| 3.2.1 硅面工艺流程实现 | 第50-56页 |
| 3.2.2 玻璃工艺流程实现 | 第56-57页 |
| 3.3 AZP4620厚胶光刻工艺 | 第57-64页 |
| 3.3.1 AZP4620胶厚研究 | 第58-60页 |
| 3.3.2 AZP4620厚胶曝光参数研究 | 第60-63页 |
| 3.3.3 电容电感深槽光刻与电感铸膜光刻成型 | 第63-64页 |
| 3.4 玻璃片上电感微电铸工艺 | 第64-70页 |
| 3.4.1 电铸方式对电铸质量的影响 | 第66-67页 |
| 3.4.2 电流密度对电铸速率的影响 | 第67-68页 |
| 3.4.3 电铸电感线圈成型 | 第68-70页 |
| 3.5 键合及键合后工艺流程实现 | 第70-72页 |
| 3.6 本章小节 | 第72-75页 |
| 第四章 双电容式无线无源压力传感器的测试与分析 | 第75-87页 |
| 4.1 厚电感线圈性能测试 | 第75-77页 |
| 4.1.1 厚电感线圈电阻值测试 | 第75-76页 |
| 4.1.2 厚电感线圈电感测试 | 第76-77页 |
| 4.2 常温下压力传感器的性能测试 | 第77-81页 |
| 4.2.1 常温下传感器测试平台搭建 | 第77-78页 |
| 4.2.2 结构可行性测试 | 第78-79页 |
| 4.2.3 常温下压敏特性测试 | 第79-81页 |
| 4.3 传感器读取距离测试 | 第81-83页 |
| 4.3.1 读取距离测试装置搭建 | 第81-82页 |
| 4.3.2 读取距离测试 | 第82-83页 |
| 4.4 压力传感器的温度特性 | 第83-86页 |
| 4.4.1 传感器高温特性测试平台搭建 | 第83-84页 |
| 4.4.2 温度特性测试 | 第84-86页 |
| 4.5 本章小结 | 第86-87页 |
| 第五章 总结与展望 | 第87-89页 |
| 5.1 总结 | 第87-88页 |
| 5.2 展望 | 第88-89页 |
| 参考文献 | 第89-92页 |
| 致谢 | 第92-93页 |
| 攻读硕士期间发表的论文 | 第93页 |
