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可调谐栅结构微机械陀螺的研究

致谢第5-6页
摘要第6-8页
ABSTRACT第8-9页
1. 绪论第13-35页
    1.1. 陀螺概述第13-14页
    1.2. 陀螺仪的分类第14-19页
        1.2.1. 刚体转子陀螺第15-16页
        1.2.2. 光学陀螺第16-17页
        1.2.3. 振动式陀螺第17-19页
    1.3. 微机械陀螺发展及国内外现状第19-32页
        1.3.1. 国外发展现状第20-29页
        1.3.2. 国内发展现状第29-32页
    1.4. 课题研究内容第32-35页
2. 微机械陀螺基础第35-59页
    2.1. Coriolis效应第35-37页
    2.2. 陀螺驱动模态响应第37-40页
    2.3. 陀螺检测模态响应第40-43页
    2.4. 陀螺器件的工作带宽第43-49页
    2.5. 电容检测第49-50页
    2.6. 静电弹性系数与静电吸合第50-53页
    2.7. 空气阻尼第53-55页
    2.8. 正交误差与柯氏零偏第55-57页
    2.9. 小结第57-59页
3. 可调谐栅结构微机械陀螺的设计第59-89页
    3.1. 可调谐式栅结构微机械陀螺的结构第60-63页
    3.2. 弹性梁结构设计第63-66页
    3.3. 调谐结构的设计第66-74页
    3.4. 静电推挽驱动第74-78页
    3.5. 位移检测第78-79页
    3.6. 力平衡检测第79-83页
    3.7. 模态仿真第83-86页
    3.8. 陀螺的噪声特性分析第86-88页
    3.9. 小结第88-89页
4. 可调谐栅结构微机械陀螺的制作第89-101页
    4.1. 制作工艺简介第89-92页
    4.2. 栅结构微机械陀螺的工艺步骤第92-94页
    4.3. 工艺误差第94-96页
    4.4. 工艺误差对调谐效果的影响第96-99页
    4.5. 小结第99-101页
5. 陀螺驱动及检测环路的设计第101-131页
    5.1. 驱动环路的设计第101-104页
    5.2. 驱动环路分析第104-107页
    5.3. 驱动环路仿真第107-112页
    5.4. 驱动环路测试第112-116页
    5.5. 检测环路设计第116-118页
    5.6. 环路分析第118-122页
    5.7. 典型参数下的环路仿真第122-125页
    5.8. 检测环路的测试第125-128页
    5.9. 环路对噪声的影响第128-130页
    5.10. 小结第130-131页
6. 可调谐栅结构微机械陀螺的测试第131-149页
    6.1. 陀螺器件特性测试第131-141页
        6.1.1. 器件电容及模态频率特性测试第131-132页
        6.1.2. 位移电容灵敏度测试第132-133页
        6.1.3. 检测模态调谐能力测试第133-135页
        6.1.4. 调谐能力温度特性测试第135-141页
    6.2. 陀螺整体性能测试第141-148页
        6.2.1. 开环下的耦合及标度因数测试第141-142页
        6.2.2. 开环带宽测试第142-143页
        6.2.3. 角速度响应测试第143-144页
        6.2.4. 噪声测试第144-145页
        6.2.5. 闭环角速度带宽测试第145-146页
        6.2.6. 稳定性测试第146-148页
    6.3. 小结第148-149页
7. 总结与展望第149-151页
参考文献第151-167页
作者简历及在学期间所取得的科研成果第167页

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