可调谐栅结构微机械陀螺的研究
致谢 | 第5-6页 |
摘要 | 第6-8页 |
ABSTRACT | 第8-9页 |
1. 绪论 | 第13-35页 |
1.1. 陀螺概述 | 第13-14页 |
1.2. 陀螺仪的分类 | 第14-19页 |
1.2.1. 刚体转子陀螺 | 第15-16页 |
1.2.2. 光学陀螺 | 第16-17页 |
1.2.3. 振动式陀螺 | 第17-19页 |
1.3. 微机械陀螺发展及国内外现状 | 第19-32页 |
1.3.1. 国外发展现状 | 第20-29页 |
1.3.2. 国内发展现状 | 第29-32页 |
1.4. 课题研究内容 | 第32-35页 |
2. 微机械陀螺基础 | 第35-59页 |
2.1. Coriolis效应 | 第35-37页 |
2.2. 陀螺驱动模态响应 | 第37-40页 |
2.3. 陀螺检测模态响应 | 第40-43页 |
2.4. 陀螺器件的工作带宽 | 第43-49页 |
2.5. 电容检测 | 第49-50页 |
2.6. 静电弹性系数与静电吸合 | 第50-53页 |
2.7. 空气阻尼 | 第53-55页 |
2.8. 正交误差与柯氏零偏 | 第55-57页 |
2.9. 小结 | 第57-59页 |
3. 可调谐栅结构微机械陀螺的设计 | 第59-89页 |
3.1. 可调谐式栅结构微机械陀螺的结构 | 第60-63页 |
3.2. 弹性梁结构设计 | 第63-66页 |
3.3. 调谐结构的设计 | 第66-74页 |
3.4. 静电推挽驱动 | 第74-78页 |
3.5. 位移检测 | 第78-79页 |
3.6. 力平衡检测 | 第79-83页 |
3.7. 模态仿真 | 第83-86页 |
3.8. 陀螺的噪声特性分析 | 第86-88页 |
3.9. 小结 | 第88-89页 |
4. 可调谐栅结构微机械陀螺的制作 | 第89-101页 |
4.1. 制作工艺简介 | 第89-92页 |
4.2. 栅结构微机械陀螺的工艺步骤 | 第92-94页 |
4.3. 工艺误差 | 第94-96页 |
4.4. 工艺误差对调谐效果的影响 | 第96-99页 |
4.5. 小结 | 第99-101页 |
5. 陀螺驱动及检测环路的设计 | 第101-131页 |
5.1. 驱动环路的设计 | 第101-104页 |
5.2. 驱动环路分析 | 第104-107页 |
5.3. 驱动环路仿真 | 第107-112页 |
5.4. 驱动环路测试 | 第112-116页 |
5.5. 检测环路设计 | 第116-118页 |
5.6. 环路分析 | 第118-122页 |
5.7. 典型参数下的环路仿真 | 第122-125页 |
5.8. 检测环路的测试 | 第125-128页 |
5.9. 环路对噪声的影响 | 第128-130页 |
5.10. 小结 | 第130-131页 |
6. 可调谐栅结构微机械陀螺的测试 | 第131-149页 |
6.1. 陀螺器件特性测试 | 第131-141页 |
6.1.1. 器件电容及模态频率特性测试 | 第131-132页 |
6.1.2. 位移电容灵敏度测试 | 第132-133页 |
6.1.3. 检测模态调谐能力测试 | 第133-135页 |
6.1.4. 调谐能力温度特性测试 | 第135-141页 |
6.2. 陀螺整体性能测试 | 第141-148页 |
6.2.1. 开环下的耦合及标度因数测试 | 第141-142页 |
6.2.2. 开环带宽测试 | 第142-143页 |
6.2.3. 角速度响应测试 | 第143-144页 |
6.2.4. 噪声测试 | 第144-145页 |
6.2.5. 闭环角速度带宽测试 | 第145-146页 |
6.2.6. 稳定性测试 | 第146-148页 |
6.3. 小结 | 第148-149页 |
7. 总结与展望 | 第149-151页 |
参考文献 | 第151-167页 |
作者简历及在学期间所取得的科研成果 | 第167页 |