| 作者简介 | 第2-4页 |
| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-8页 |
| 目录 | 第9-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-26页 |
| 1.1 引言 | 第12-13页 |
| 1.2 SiC功率器件的主要进展 | 第13-18页 |
| 1.3 SiC MESFET的应用领域及优势 | 第18-20页 |
| 1.4 SiC MESFET的研究进展及现状 | 第20-24页 |
| 1.4.1 国外研究现状 | 第20-21页 |
| 1.4.2 国内研究现状 | 第21-22页 |
| 1.4.3 问题与挑战 | 第22-24页 |
| 1.5 论文的内容安排 | 第24-26页 |
| 第二章 MESFET的工作原理与特性表征 | 第26-40页 |
| 2.1 MESFET器件工作机理 | 第26-31页 |
| 2.1.1 肖特基接触 | 第26-28页 |
| 2.1.2 欧姆接触 | 第28-29页 |
| 2.1.3 MESFET工作原理 | 第29-31页 |
| 2.2 SiC MESFET的直流参数与特性表征 | 第31-34页 |
| 2.2.1 直流参数 | 第31-32页 |
| 2.2.2 直流特性 | 第32-34页 |
| 2.3 SiC MESFET的频率参数及表征 | 第34-38页 |
| 2.3.1 MESFET的物理模型及交流小信号等效电路 | 第34-35页 |
| 2.3.2 交流参数及表征 | 第35-36页 |
| 2.3.3 频率参数及表征 | 第36-37页 |
| 2.3.4 微波参数及表征 | 第37-38页 |
| 2.4 本章小结 | 第38-40页 |
| 第三章 4H-SiC MESFET关键工艺与器件建模 | 第40-60页 |
| 3.1 4H-SiC MESFET器件关键工艺 | 第40-46页 |
| 3.1.1 SiC材料生长技术 | 第40-42页 |
| 3.1.2 SiC材料刻蚀技术 | 第42-43页 |
| 3.1.3 离子注入及杂质激活 | 第43-44页 |
| 3.1.4 欧姆接触 | 第44-46页 |
| 3.2 SiC MESFET器件建模 | 第46-51页 |
| 3.2.1 数值模拟方法 | 第46-47页 |
| 3.2.2 器件结构 | 第47-48页 |
| 3.2.3 物理模型 | 第48-51页 |
| 3.3 特性模拟结果与分析 | 第51-57页 |
| 3.3.1 栅长对器件特性的影响 | 第53-54页 |
| 3.3.2 电极间距对器件特性的影响 | 第54-56页 |
| 3.3.3 沟道层对器件特性的影响 | 第56-57页 |
| 3.4 本章小结 | 第57-60页 |
| 第四章 新型隔离层结构SiC MESFET设计与特性分析 | 第60-82页 |
| 4.1 传统结构4H-SiC MESFET管芯制备工艺流程 | 第60-63页 |
| 4.1.1 传统结构4H-SiC MESFET管芯制备流程 | 第60-62页 |
| 4.1.2 几种改进结构的4H-SiC MESFET分析 | 第62-63页 |
| 4.2 P型隔离层结构4H-SiC MESFET结构与工艺设计 | 第63-66页 |
| 4.2.1 P型隔离层结构的提出 | 第63-64页 |
| 4.2.2 P型隔离层器件结构与工艺设计 | 第64-66页 |
| 4.3 新型隔离层结构的4H-SiC MESFET特性研究 | 第66-73页 |
| 4.3.1 直流特性分析与结构优化 | 第66-69页 |
| 4.3.2 交流特性分析 | 第69-73页 |
| 4.4 源漏间P型外延层4H-SiC MESFET特性研究 | 第73-79页 |
| 4.4.1 器件的简化设计 | 第73页 |
| 4.4.2 器件结构与模型 | 第73-75页 |
| 4.4.3 电场调制机理与特性分析 | 第75-79页 |
| 4.5 本章小结 | 第79-82页 |
| 第五章 S波段高性能SiC MESFET设计与特性研究 | 第82-102页 |
| 5.1 改进型栅缓冲层结构SiC MESFET设计 | 第82-91页 |
| 5.1.1 SiC MESFET在S波段应用存在的问题 | 第82-83页 |
| 5.1.2 改进型栅缓冲层结构设计 | 第83-84页 |
| 5.1.3 特性分析及结构优化 | 第84-91页 |
| 5.2 异质栅结构4H-SiC MESFET设计与特性研究 | 第91-101页 |
| 5.2.1 小尺寸器件的面临的挑战 | 第91-92页 |
| 5.2.2 异质栅结构与模型 | 第92-93页 |
| 5.2.3 特性分析 | 第93-101页 |
| 5.3 本章小结 | 第101-102页 |
| 第六章 总结与展望 | 第102-106页 |
| 6.1 结论 | 第102-103页 |
| 6.2 展望 | 第103-106页 |
| 致谢 | 第106-108页 |
| 参考文献 | 第108-124页 |
| 攻读博士学位期间的研究成果 | 第124-126页 |
