| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第10-18页 |
| 1.1 ZnO材料的发展 | 第10页 |
| 1.2 ZnO薄膜的基本结构和性质 | 第10-12页 |
| 1.3 ZnO材料特性及其应用 | 第12-14页 |
| 1.3.1 ZnO的光学特性及其应用 | 第12页 |
| 1.3.2 ZnO的电学特性及其应用 | 第12页 |
| 1.3.3 ZnO的压电特性及其应用 | 第12-13页 |
| 1.3.4 ZnO的压敏特性及应用 | 第13页 |
| 1.3.5 ZnO的气敏特性及其应用 | 第13页 |
| 1.3.6 ZnO的作为缓冲层的应用 | 第13-14页 |
| 1.3.7 ZnO的其他应用 | 第14页 |
| 1.4 ZnO材料的发展现状 | 第14-15页 |
| 1.4.1 国内ZnO材料的发展现状 | 第14-15页 |
| 1.4.2 国外ZnO材料的发展现状 | 第15页 |
| 1.5 本文所研究及探讨的内容 | 第15-18页 |
| 第二章 ZnO薄膜的制备方法及对其研究的表征方法 | 第18-26页 |
| 2.1 ZnO的制备方法 | 第18-21页 |
| 2.1.1 热蒸发技术 | 第18页 |
| 2.1.2 分子束外延(MBE) | 第18-19页 |
| 2.1.3 脉冲激光沉积(PLD) | 第19页 |
| 2.1.4 金属有机物化学气相沉积(MOCVD) | 第19页 |
| 2.1.5 溶胶凝胶法(solgel) | 第19-20页 |
| 2.1.6 喷雾热解技术 | 第20页 |
| 2.1.7 真空磁控溅射法 | 第20-21页 |
| 2.2 ZnO薄膜的生长及性能研究的表征方法 | 第21-23页 |
| 2.2.1 XRD表征 | 第21页 |
| 2.2.2 原子力显微镜(AFM)表征 | 第21-22页 |
| 2.2.3 台阶仪表征 | 第22页 |
| 2.2.4 扫描电镜测试（SEM）表征 | 第22页 |
| 2.2.5 光致发光（PL谱）表征 | 第22-23页 |
| 2.2.6 透射光谱表征 | 第23页 |
| 2.3 射频磁控溅射ZnO薄膜 | 第23-26页 |
| 2.3.1 射频磁控溅射设备的概述 | 第23-24页 |
| 2.3.2 射频磁控溅射的方法及流程 | 第24-25页 |
| 2.3.3 溅射样品的制备及实验方案 | 第25-26页 |
| 第三章 不同工艺条件对Si衬底生长ZnO薄膜的影响及其性能的研究 | 第26-42页 |
| 3.1 不同溅射功率对ZnO薄膜生长及其性能的影响 | 第26-30页 |
| 3.1.1 XRD对ZnO薄膜生长的表征 | 第26-28页 |
| 3.1.2 SEM对ZnO薄膜表面形貌的表征 | 第28页 |
| 3.1.3 台阶仪对ZnO薄膜生长厚度的表征 | 第28-29页 |
| 3.1.4 PL谱对ZnO薄膜光学性能的表征 | 第29-30页 |
| 3.2 不同衬底温度对ZnO薄膜生长及性能的影响 | 第30-33页 |
| 3.2.1 XRD对ZnO薄膜生长的表征 | 第30-31页 |
| 3.2.2 AFM对ZnO薄膜表面形貌的表征 | 第31-32页 |
| 3.2.3 台阶仪对ZnO薄膜生长厚度的表征 | 第32-33页 |
| 3.3 不同溅射压强对ZnO薄膜生长及其性能的影响 | 第33-36页 |
| 3.3.1 XRD对ZnO薄膜生长的表征 | 第33-35页 |
| 3.3.2 SEM对ZnO薄膜表面形貌的表征 | 第35-36页 |
| 3.3.3 台阶仪对ZnO薄膜生长厚度的表征 | 第36页 |
| 3.4 不同氩氧比对ZnO薄膜生长及其性能的影响 | 第36-42页 |
| 3.4.1 XRD对ZnO薄膜生长的表征 | 第37-38页 |
| 3.4.2 SEM对ZnO薄膜表面形貌的表征 | 第38-39页 |
| 3.4.3 台阶仪对ZnO薄膜生长厚度的表征 | 第39-42页 |
| 第四章 在玻璃衬底上溅射ZnO薄膜的生长及其性能研究 | 第42-48页 |
| 4.1 不同衬底温度对ZnO薄膜生长及其性能的研究 | 第42-46页 |
| 4.1.1 XRD表征 | 第42-43页 |
| 4.1.2 SEM表征 | 第43-44页 |
| 4.1.3 台阶仪表征 | 第44-45页 |
| 4.1.4 透射率表征 | 第45-46页 |
| 4.2 不同溅射时间对ZnO薄膜厚度的影响 | 第46-48页 |
| 4.2.1 台阶仪表征 | 第46-48页 |
| 第五章 不同衬底溅射ZnO薄膜的生长及其性能研究 | 第48-54页 |
| 5.1 不同衬底对薄膜生长及其表面形貌的影响 | 第48-50页 |
| 5.1.1 XRD表征 | 第48-49页 |
| 5.1.2 SEM表征 | 第49-50页 |
| 5.2 不同衬底的薄膜厚度 | 第50页 |
| 5.3 不同衬底对ZnO薄膜性能的影响 | 第50-54页 |
| 5.3.1 蓝宝石和玻璃衬底的ZnO薄膜透射率的分析 | 第50-51页 |
| 5.3.2 PL谱对ZnO薄膜光学性能的影响 | 第51-54页 |
| 第六章 结论 | 第54-56页 |
| 参考文献 | 第56-60页 |
| 攻读学位期间所取得的研究成果 | 第60-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |
