| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 目录 | 第7-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-14页 |
| 1.1 本课题研究的目的和意义 | 第9-10页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第10-13页 |
| 1.2.1 当前国外发展研究现状 | 第10-11页 |
| 1.2.2 当前国内发展研究现状 | 第11-13页 |
| 1.3 本课题研究内容 | 第13-14页 |
| 第2章 超精密机床的搭建及导轨运行平稳性分析研究 | 第14-26页 |
| 2.1 超精密机床功能规划及其性能分析 | 第14-15页 |
| 2.1.1 功能规划 | 第14页 |
| 2.1.2 性能分析 | 第14-15页 |
| 2.1.3 超精机密床整体结构布局及其功能的实现 | 第15页 |
| 2.2 超精密机床的搭建及其控制系统的建立 | 第15-19页 |
| 2.2.1 超精密机床结构部件选型 | 第16-18页 |
| 2.2.2 超精密机床控制系统的建立 | 第18-19页 |
| 2.3 导轨运行平稳性主要影响因素 | 第19-21页 |
| 2.3.1 导轨自身因素 | 第19-21页 |
| 2.3.2 外界因素 | 第21页 |
| 2.4 导轨运行平稳性的评价 | 第21-25页 |
| 2.4.1 常见的导轨运行平稳性评价方案 | 第22-23页 |
| 2.4.2 导轨运行平稳性评价方案 | 第23-24页 |
| 2.4.3 工件表面粗糙度 | 第24-25页 |
| 2.5 本章小结 | 第25-26页 |
| 第3章 光栅信号采集电路及导轨运行平稳性实验研究 | 第26-39页 |
| 3.1 速度检测装置 | 第26-28页 |
| 3.1.1 常见的速度检测装置 | 第26页 |
| 3.1.2 光栅尺 | 第26-28页 |
| 3.2 光栅信号采集处理 | 第28-33页 |
| 3.2.1 常见的信号采集方案 | 第28-29页 |
| 3.2.2 FPGA 信号采集方案 | 第29-31页 |
| 3.2.3 FPGA 开发板内部逻辑电路编程及仿真 | 第31-32页 |
| 3.2.4 FPGA 信号采集方案准确度求证 | 第32-33页 |
| 3.2.5 数据处理 | 第33页 |
| 3.3 导轨运行平稳性的实验研究 | 第33-37页 |
| 3.3.1 导轨传动系统 | 第33页 |
| 3.3.2 供气压力 | 第33-35页 |
| 3.3.3 导轨运行速度 | 第35-37页 |
| 3.4 本章小结 | 第37-39页 |
| 第4章 超精密机床车削工艺实验研究 | 第39-52页 |
| 4.1 实验条件 | 第39-41页 |
| 4.1.1 工件材料 | 第39页 |
| 4.1.2 刀具材料、参数 | 第39-41页 |
| 4.2 实验研究切削参数对机床加工精度的影响 | 第41-43页 |
| 4.2.1 主轴转速 | 第41页 |
| 4.2.2 进给量 | 第41-42页 |
| 4.2.3 背吃刀量 | 第42-43页 |
| 4.3 超精密机床车削工艺实验研究 | 第43-49页 |
| 4.3.1 供气压力 | 第43-46页 |
| 4.3.2 导轨运行速度 | 第46-49页 |
| 4.4 实验分析 | 第49-51页 |
| 4.4.1 供气压力对导轨运行平稳性及机床加工精度的影响 | 第49页 |
| 4.4.2 运行速度对导轨运行平稳性及机床加工精度的影响 | 第49-51页 |
| 4.4.3 导轨运行平稳性与机床加工精度对应关系 | 第51页 |
| 4.5 本章小结 | 第51-52页 |
| 结论 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-58页 |
| 致谢 | 第58-59页 |
