晶圆传输接触面粘滑状态检测原理及其传感器设计
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 目录 | 第7-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-18页 |
| 1.1 课题背景及研究的目的和意义 | 第9-10页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第10-16页 |
| 1.2.1 力传感器的研究现状 | 第10-14页 |
| 1.2.2 粘滑状态检测的研究现状 | 第14-16页 |
| 1.3 课题来源 | 第16页 |
| 1.4 主要研究内容 | 第16-18页 |
| 第2章 粘滑状态判定方式的研究 | 第18-26页 |
| 2.1 引言 | 第18页 |
| 2.2 摩擦力分析 | 第18-23页 |
| 2.2.1 晶圆传输系统模型 | 第18-19页 |
| 2.2.2 “粘”和“滑”状态下摩擦力分析 | 第19页 |
| 2.2.3 “粘滑交替”状态下摩擦力分析 | 第19-23页 |
| 2.3 粘滑状态的判定方式 | 第23-25页 |
| 2.4 本章小结 | 第25-26页 |
| 第3章 粘滑状态检测传感器原理分析 | 第26-36页 |
| 3.1 引言 | 第26页 |
| 3.2 压阻导电墨传感器原理 | 第26-30页 |
| 3.2.1 传感原理 | 第26-28页 |
| 3.2.2 三轴力的检测方式 | 第28-30页 |
| 3.3 磁铁线圈传感器原理 | 第30-35页 |
| 3.3.1 传感原理 | 第30页 |
| 3.3.2 机械运动环节 | 第30-31页 |
| 3.3.3 电磁感应环节 | 第31-33页 |
| 3.3.4 滑动检测功能的实现 | 第33-34页 |
| 3.3.5 滑动传感器的性能指标 | 第34-35页 |
| 3.4 本章小结 | 第35-36页 |
| 第4章 粘滑状态检测传感器的设计 | 第36-49页 |
| 4.1 引言 | 第36页 |
| 4.2 传感器的总体结构 | 第36-37页 |
| 4.3 弹性体的结构设计 | 第37-44页 |
| 4.3.1 弹性体材料的选择 | 第38页 |
| 4.3.2 弹性体结构形式的比较 | 第38-40页 |
| 4.3.3 弹性体尺寸的确定 | 第40-44页 |
| 4.4 传感元件信号处理电路设计 | 第44-48页 |
| 4.4.1 噪声分析 | 第45-46页 |
| 4.4.2 放大和微分电路的设计 | 第46-48页 |
| 4.5 本章小结 | 第48-49页 |
| 第5章 粘滑状态检测传感器的实验研究 | 第49-58页 |
| 5.1 引言 | 第49页 |
| 5.2 实验系统的建立 | 第49-51页 |
| 5.2.1 压阻导电墨传感器性能评估实验系统 | 第49-50页 |
| 5.2.2 磁铁线圈传感器模型辨识实验系统 | 第50-51页 |
| 5.2.3 晶圆传输实验系统 | 第51页 |
| 5.3 压阻导电墨传感器性能评估实验 | 第51-55页 |
| 5.4 磁铁线圈传感器模型辨识实验 | 第55-56页 |
| 5.5 晶圆传输实验 | 第56-57页 |
| 5.6 本章小结 | 第57-58页 |
| 结论 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-63页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第63-65页 |
| 致谢 | 第65页 |
