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单层二硫化钼背栅场效应晶体管的电学及光电特性研究

摘要第5-7页
Abstract第7-8页
第一章 绪论第11-27页
    1.1 引言第11-12页
    1.2 二硫化钼的性质第12-16页
        1.2.1 二硫化钼的原子结构第12-13页
        1.2.2 二硫化钼的带隙第13-15页
        1.2.3 光学性质第15页
        1.2.4 电子学性质第15-16页
    1.3 二硫化钼的应用第16-20页
        1.3.1 场效应晶体管第16-17页
        1.3.2 光电晶体管第17-18页
        1.3.3 柔性透明电子器件第18-19页
        1.3.4 气体传感器第19页
        1.3.5 二次电池第19-20页
    1.4 二硫化钼的制备方法第20-24页
        1.4.1 机械剥离法第20-21页
        1.4.2 锂离子插层法第21页
        1.4.3 化学气相沉积法第21-22页
        1.4.4 高温热分解法第22-23页
        1.4.5 物理气相沉积法第23页
        1.4.6 原子层沉积法第23-24页
    1.5 基于二硫化钼的场效应晶体管国内外研究现状第24-25页
    1.6 本论文研究内容第25-27页
第二章 样品的制备与表征第27-39页
    2.1 图形化衬底的制备第27-30页
    2.2 二硫化钼薄膜的制备及转移第30-32页
        2.2.1 二硫化钼薄膜的制备第30-31页
        2.2.2 二硫化钼薄膜的转移第31-32页
    2.3.二硫化钼薄膜的表征第32-38页
        2.3.1 光学显微镜表征第32-33页
        2.3.2 拉曼光谱表征第33-36页
        2.3.3 原子力显微镜表征第36-38页
    2.4 本章小结第38-39页
第三章 衬底及温度对二硫化钼场效应晶体管电学性能影响第39-52页
    3.1 引言第39-40页
    3.2 实验第40-41页
    3.3 结果与讨论第41-51页
        3.3.1 二硫化钼场效应晶体管电学性能分析第41-48页
        3.3.2 磁滞效应影响因素的研究第48-51页
    3.4 本章小结第51-52页
第四章 二硫化钼场效应晶体管击穿特性研究第52-59页
    4.1 二硫化钼场效应晶体管的击穿原理第52-54页
    4.2 二硫化钼场效应晶体管击穿后的电学特性分析第54-58页
    4.3 本章小结第58-59页
第五章 基于二硫化钼的光敏传感器光敏特性研究第59-67页
    5.1 引言第59页
    5.2 实验第59-60页
    5.3 结果与讨论第60-65页
    5.4 本章小结第65-67页
总结与展望第67-69页
参考文献第69-75页
致谢第75-76页
攻读硕士学位期间所取得的成果第76页

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