| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-19页 |
| ·课题背景 | 第10-11页 |
| ·国内外发展现状 | 第11-15页 |
| ·预防性维修调度研究 | 第11-13页 |
| ·预防性维修绩效评估研究 | 第13-15页 |
| ·研究意义 | 第15-16页 |
| ·本文的研究框架及内容 | 第16-17页 |
| ·论文的结构 | 第17-18页 |
| ·本章小结 | 第18-19页 |
| 第二章 面向半导体并联柔性生产线的预防性维修调度研究 | 第19-35页 |
| ·半导体并联柔性生产线调度问题分析 | 第19-22页 |
| ·并联柔性生产线调度特点 | 第19-20页 |
| ·预防性维修时间宽放区间 | 第20-21页 |
| ·半导体并联生产线预防性维修调度实例 | 第21-22页 |
| ·调度模型的建立 | 第22-29页 |
| ·预防性维修规划调度两层结构 | 第22-24页 |
| ·现有调度模型分析 | 第24-27页 |
| ·目标函数和约束条件的确定 | 第27页 |
| ·模型的建立 | 第27-29页 |
| ·模型实例验证 | 第29-34页 |
| ·实例背景和分析 | 第29-31页 |
| ·基于Lingo9.0 的实例建模程序 | 第31-33页 |
| ·验证结果 | 第33-34页 |
| ·本章小结 | 第34-35页 |
| 第三章 半导体制造行业预防性维修的绩效评估研究 | 第35-45页 |
| ·指标体系初步确立 | 第35-37页 |
| ·设备效率指标的选择 | 第37-44页 |
| ·常用维修评估设备效率指标的不足 | 第38-39页 |
| ·指标对比 | 第39-41页 |
| ·指标采样周期的确定 | 第41-44页 |
| ·指标体系的确立 | 第44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 第四章 半导体并联生产线预防性维修调度和评估系统的设计 | 第45-55页 |
| ·工厂预防性维修管理现状与系统总体需求分析 | 第45-46页 |
| ·系统的业务流程设计 | 第46-49页 |
| ·系统总体业务流程设计 | 第46-47页 |
| ·预防性维修调度模块业务流程设计 | 第47-48页 |
| ·预防性维修评估模块业务流程设计 | 第48-49页 |
| ·系统的功能结构设计 | 第49-51页 |
| ·系统的数据库设计 | 第51-52页 |
| ·预防性维修调度模块数据库设计 | 第51-52页 |
| ·预防性维修评估模块数据库设计 | 第52页 |
| ·系统界面设计 | 第52-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 第五章 半导体并联生产线预防性维修调度和评估系统的实现 | 第55-70页 |
| ·系统的开发环境 | 第55-56页 |
| ·B/S 和三层架构的开发模式 | 第56-57页 |
| ·系统的实现 | 第57-68页 |
| ·数据预处理模块的实现技术和算法 | 第57-60页 |
| ·预防性维修调度模块的实现 | 第60-68页 |
| ·系统的测试结果 | 第68-69页 |
| ·本章小结 | 第69-70页 |
| 第六章 总结与展望 | 第70-72页 |
| ·本文总结 | 第70-71页 |
| ·展望 | 第71-72页 |
| 致谢 | 第72-73页 |
| 参考文献 | 第73-77页 |
| 攻读硕士期间取得的研究成果 | 第77-78页 |
