面向跨尺度表面测量的宏微运动平台和激光干涉系统研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-14页 |
| 1.1 课题研究的目的和意义 | 第8-9页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第9-12页 |
| 1.3 主要研究内容 | 第12-14页 |
| 第2章 宏微结合运动平台设计与分析 | 第14-27页 |
| 2.1 引言 | 第14页 |
| 2.2 运动平台总体方案叙述 | 第14-15页 |
| 2.3 宏动导轨的设计 | 第15-18页 |
| 2.3.1 导轨结构的设计 | 第15-18页 |
| 2.3.2 导轨材料的选择 | 第18页 |
| 2.4 微动平台的设计 | 第18-23页 |
| 2.4.1 微动导向机构的设计 | 第19-20页 |
| 2.4.2 微动平台的结构设计 | 第20-22页 |
| 2.4.3 测量盒的设计 | 第22-23页 |
| 2.5 宏微运动平台仿真分析 | 第23-25页 |
| 2.5.1 静力分析 | 第23-24页 |
| 2.5.2 模态分析 | 第24-25页 |
| 2.6 本章小结 | 第25-27页 |
| 第3章 激光干涉测量系统设计与分析 | 第27-41页 |
| 3.1 引言 | 第27页 |
| 3.2 测量方案总体叙述 | 第27-29页 |
| 3.3 干涉测量系统的设计 | 第29-36页 |
| 3.3.1 测量光路的设计思想 | 第29-30页 |
| 3.3.2 主要光学组件的选择 | 第30-32页 |
| 3.3.3 扩束准直光路的设计 | 第32-33页 |
| 3.3.4 干涉光路的设计 | 第33-36页 |
| 3.4 测量光路仿真分析 | 第36-40页 |
| 3.4.1 扩束准直光路像差分析 | 第36-38页 |
| 3.4.2 干涉条纹仿真分析 | 第38-40页 |
| 3.5 本章小结 | 第40-41页 |
| 第4章 干涉光路误差分析 | 第41-52页 |
| 4.1 引言 | 第41页 |
| 4.2 偏振分光镜误差分析 | 第41-45页 |
| 4.2.1 分光镜泄光分析 | 第41-43页 |
| 4.2.2 分光镜安装误差分析 | 第43-45页 |
| 4.3 波片误差分析 | 第45-48页 |
| 4.3.1 波片安装误差分析 | 第45-46页 |
| 4.3.2 波片相位延迟误差分析 | 第46-48页 |
| 4.4 角锥棱镜误差分析 | 第48-50页 |
| 4.5 平面反射镜误差分析 | 第50-51页 |
| 4.6 本章小结 | 第51-52页 |
| 第5章 干涉信号误差补偿算法的研究 | 第52-59页 |
| 5.1 引言 | 第52页 |
| 5.2 干涉信号误差模型 | 第52-54页 |
| 5.3 干涉信号误差补偿算法探讨 | 第54-56页 |
| 5.4 Heydemann 补偿算法仿真分析 | 第56-58页 |
| 5.5 本章小结 | 第58-59页 |
| 结论 | 第59-61页 |
| 参考文献 | 第61-65页 |
| 致谢 | 第65页 |
