| 中文摘要 | 第3-4页 |
| 英文摘要 | 第4-5页 |
| 1 绪论 | 第8-21页 |
| 1.1 研究背景 | 第8页 |
| 1.2 微型压电振动能量收集器研究现状 | 第8-19页 |
| 1.2.1 提高能量获取效率 | 第8-13页 |
| 1.2.2 提高能量转换效率 | 第13-19页 |
| 1.3 研究目标和研究内容 | 第19-20页 |
| 1.4 本章小结 | 第20-21页 |
| 2 微型压电悬臂梁阵列振动能量收集器的理论分析 | 第21-31页 |
| 2.1 微型压电悬臂梁阵列振动能量收集器的结构及工作原理 | 第21-24页 |
| 2.1.1 工作模式和压电材料的选择 | 第21-22页 |
| 2.1.2 结构及工作原理 | 第22-24页 |
| 2.2 微型压电悬臂梁阵列振动能量收集器的性能影响因素分析 | 第24-30页 |
| 2.2.1 集总参数模型分析 | 第24-28页 |
| 2.2.2 器件的机械阻尼比分析 | 第28-30页 |
| 2.3 本章小结 | 第30-31页 |
| 3 微型压电悬臂梁阵列振动能量收集器的结构优化设计 | 第31-38页 |
| 3.1 优化设计思路 | 第31-33页 |
| 3.1.1 应用环境研究 | 第31-32页 |
| 3.1.2 约束条件 | 第32页 |
| 3.1.3 总体优化思路 | 第32-33页 |
| 3.2 微型压电悬臂梁阵列振动能量收集器的优化设计 | 第33-37页 |
| 3.2.1 能量采集芯片结构优化设计 | 第33-35页 |
| 3.2.2 圆片级低真空封装结构优化设计 | 第35-37页 |
| 3.3 本章小结 | 第37-38页 |
| 4 微型压电悬臂梁阵列振动能量收集器的加工 | 第38-49页 |
| 4.1 加工工艺流程 | 第38-40页 |
| 4.2 掩膜版版图设计 | 第40-41页 |
| 4.3 关键加工工艺 | 第41-47页 |
| 4.3.1 刻蚀工艺 | 第41-42页 |
| 4.3.2 PZT薄膜关键工艺 | 第42-47页 |
| 4.4 圆片级低真空键合工艺探索 | 第47-48页 |
| 4.5 本章小结 | 第48-49页 |
| 5 微型压电悬臂梁阵列振动能量收集器的测试分析 | 第49-60页 |
| 5.1 样机芯片静态测试 | 第49-50页 |
| 5.2 样机结构尺寸测试 | 第50-52页 |
| 5.2.1 主要测试参数 | 第50-51页 |
| 5.2.2 测试结果及分析 | 第51-52页 |
| 5.3 样机输出性能测试 | 第52-59页 |
| 5.3.1 测试方法 | 第52-53页 |
| 5.3.2 测试平台搭建 | 第53-54页 |
| 5.3.3 测试结果及分析 | 第54-59页 |
| 5.4 本章小结 | 第59-60页 |
| 6 总结与展望 | 第60-62页 |
| 6.1 总结 | 第60页 |
| 6.2 展望 | 第60-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-68页 |
| 附录 | 第68页 |
| A. 作者在攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第68页 |
| B. 作者在攻读硕士学位期间参加的学术会议 | 第68页 |
