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电—热耦合作用下Cu/SnAgCu/Cu微焊点界面扩散及电迁移规律研究

摘要第5-7页
Abstract第7-9页
第1章 绪论第16-37页
    1.1 课题背景第16-17页
    1.2 电迁移研究简介第17-21页
        1.2.1 电迁移的研究历程第17-18页
        1.2.2 电迁移的研究方法第18-19页
        1.2.3 电迁移与Black方程第19页
        1.2.4 电迁移过程中的电流拥挤效应第19-20页
        1.2.5 电迁移过程中的焦耳热效应第20-21页
        1.2.6 电迁移过程中的极化效应第21页
    1.3 电迁移过程驱动力的研究第21-26页
        1.3.1 电迁移第22-23页
        1.3.2 热迁移第23-24页
        1.3.3 应力迁移第24-26页
        1.3.4 化学迁移第26页
    1.4 影响微焊点电迁移性能的因素第26-31页
        1.4.1 服役条件第27页
        1.4.2 焊点结构第27-28页
        1.4.3 焊点合金成分第28-30页
        1.4.4 焊点尺寸第30-31页
    1.5 电迁移对微焊点可靠性的影响第31-35页
        1.5.1 对微观组织的影响第31-33页
        1.5.2 对微焊点力学性能的影响第33-35页
    1.6 目前研究存在问题第35页
    1.7 本文的主要研究目的与研究内容第35-37页
第2章 试验材料及方法第37-47页
    2.1 钎焊材料及PCB板设计第37-39页
        2.1.1 试验材料第37-38页
        2.1.2 PCB板的设计第38-39页
    2.2 试样的准备第39-42页
        2.2.1 线性焊点的制备第39-40页
        2.2.2 BGA焊点的制备第40-41页
        2.2.3 不同高度焊点的制备第41-42页
    2.3 电迁移试验第42-44页
        2.3.1 线性焊点电迁移试验第42-43页
        2.3.2 BGA焊点的电迁移试验第43-44页
    2.4 热时效试验第44-45页
    2.5 焊点微观形貌分析第45-46页
    2.6 界面IMC厚度及Cu盘消耗测量第46页
    2.7 本章小结第46-47页
第3章 电-热耦合作用下界面反应及IMC生长演变第47-68页
    3.1 引言第47页
    3.2 电-热耦合作用下界面元素扩散第47-48页
    3.3 电-热耦合作用下界面IMC的生长演变第48-56页
        3.3.1 固-固扩散界面IMC厚度变化第48-50页
        3.3.2 电-热耦合作用下焊点内元素浓度变化第50-51页
        3.3.3 界面IMC生长动力学分析第51-52页
        3.3.4 固-固扩散界面IMC 3-D形貌变化第52-53页
        3.3.5 固-液扩散界面IMC厚度变化第53-55页
        3.3.6 固-液扩散界面IMC的生长模型第55-56页
    3.4 加载条件对界面IMC生长演变的影响第56-62页
        3.4.1 焊点温度对界面IMC的生长与演变的影响第56-58页
        3.4.2 电流密度对固-液扩散的影响第58-62页
    3.5 回流焊后界面IMC晶粒尺寸与电迁移行为第62-65页
    3.6 Cu焊盘消耗时间与焊点温度关系第65-66页
    3.7 本章小结第66-68页
第4章 电-热耦合时效与微焊点的几何尺寸效应第68-82页
    4.1 引言第68页
    4.2 线性焊点的几何尺寸效应第68-74页
        4.2.1 回流焊过程的几何尺寸效应第68-69页
        4.2.2 热时效过程的几何尺寸效应第69-72页
        4.2.3 电-热耦合时效过程的几何尺寸效应第72-74页
    4.3 BGA焊点的几何尺寸效应第74-81页
        4.3.1 不同直径焊点的电-热耦合时效特征第74-75页
        4.3.2 不同高度焊点的电-热耦合时效特征第75-81页
    4.4 本章小结第81-82页
第5章 电-热耦合时效过程中焊盘消耗及IMC生长本构模型第82-93页
    5.1 引言第82页
    5.2 热时效过程中界面IMC生长及Cu焊盘消耗第82-83页
    5.3 阴极Cu焊盘消耗及阳极界面IMC生长的本构方程第83-91页
        5.3.1 阴极Cu焊盘消耗的本构方程第85-88页
        5.3.2 阳极界面IMC生长的本构方程第88-91页
    5.4 电流对焊点中Cu元素分布的影响第91-92页
    5.5 本章小结第92-93页
第6章 钎料中微量元素与微焊点抗电-热耦合时效性能第93-102页
    6.1 引言第93页
    6.2 微焊点抗热时效性能比较第93-97页
        6.2.1 焊点及界面微观形貌第93-96页
        6.2.2 界面IMC层厚度第96-97页
    6.3 微焊点抗电-热耦合时效性能比较第97-100页
        6.3.1 焊点及界面IMC微观形貌第97-99页
        6.3.2 阴极Cu焊盘消耗第99-100页
    6.4 本章小结第100-102页
结论第102-104页
创新点第104-105页
参考文献第105-116页
攻读学位期间发表的学术论文第116-117页
致谢第117页

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