大面积仿生结构特征参数检测及表面性能研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第8-14页 |
| 1.1 研究背景 | 第8页 |
| 1.2 仿生结构的研究现状 | 第8-11页 |
| 1.2.1 国内外减反射结构研究现状 | 第8-10页 |
| 1.2.2 国内外超疏水结构研究现状 | 第10-11页 |
| 1.3 微纳结构特征参数检测方法 | 第11-13页 |
| 1.3.1 按接触检测方法 | 第11-12页 |
| 1.3.2 非接触检测方法 | 第12-13页 |
| 1.4 论文主要内容 | 第13-14页 |
| 第二章 激光干涉原理、模拟仿真及结构的制备 | 第14-28页 |
| 2.1 引言 | 第14页 |
| 2.2 激光干涉原理 | 第14-17页 |
| 2.3 激光干涉MATLAB模拟 | 第17-22页 |
| 2.4 仿生结构的制备 | 第22-27页 |
| 2.4.1 单晶硅光刻实验 | 第22-25页 |
| 2.4.2 非晶硅薄膜表面光刻实验 | 第25-27页 |
| 2.5 本章小结 | 第27-28页 |
| 第三章 大面积仿生结构的实现 | 第28-33页 |
| 3.1 引言 | 第28页 |
| 3.2 软硬件系统的搭建及控制 | 第28-31页 |
| 3.2.1 软硬件系统的构成 | 第28-29页 |
| 3.2.2 软硬件系统的控制 | 第29-31页 |
| 3.2.2.1 硬件部分控制 | 第29-30页 |
| 3.2.2.2 软件部分控制 | 第30-31页 |
| 3.3 大面积拼接的实现 | 第31-32页 |
| 3.4 小结 | 第32-33页 |
| 第四章 特征参数的测量及表面性能分析 | 第33-43页 |
| 4.1 引言 | 第33-34页 |
| 4.2 微纳结构特征参数的提取 | 第34-38页 |
| 4.2.1 样品表面特征参数检测方法 | 第34-35页 |
| 4.2.2 样品表面结构周期、深度的提取及分析 | 第35-38页 |
| 4.3 微纳结构表面性能分析 | 第38-42页 |
| 4.3.1 反射率、润湿性测量方法 | 第38-39页 |
| 4.3.2 单晶硅和非晶硅薄膜表面反射率和润湿性 | 第39-42页 |
| 4.4 小结 | 第42-43页 |
| 第五章 总结与展望 | 第43-44页 |
| 参考文献 | 第44-47页 |
| 致谢 | 第47页 |
