纳米柱结构增强GaN基绿光LED内量子效率的研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-25页 |
| 1.1 引言 | 第9页 |
| 1.2 当前绿光LED遇到的主要问题 | 第9-12页 |
| 1.2.1 光提取效率低 | 第10-11页 |
| 1.2.2 量子限制斯塔克效应 | 第11-12页 |
| 1.3 提高绿光LED发光效率的研究现状 | 第12-17页 |
| 1.3.1 提高绿光光提取效率 | 第12-16页 |
| 1.3.2 提高内量子效率 | 第16-17页 |
| 1.4 GaN基纳米柱LED | 第17-23页 |
| 1.4.1 纳米柱结构提高LED发光效率 | 第17-18页 |
| 1.4.2 纳米柱的制备方法 | 第18-21页 |
| 1.4.3 国内外研究现状 | 第21-23页 |
| 1.5 本论文的工作及主要内容 | 第23-25页 |
| 第二章 纳米柱掩膜的制备 | 第25-34页 |
| 2.1 引言 | 第25页 |
| 2.2 实验仪器、试剂及表征方式 | 第25-27页 |
| 2.2.1 实验仪器 | 第25-26页 |
| 2.2.2 实验试剂 | 第26页 |
| 2.2.3 表征方式 | 第26-27页 |
| 2.3 旋涂法 | 第27-29页 |
| 2.3.1 实验部分 | 第27页 |
| 2.3.2 结果与讨论 | 第27-29页 |
| 2.4 滴定法 | 第29-30页 |
| 2.4.1 实验部分 | 第29页 |
| 2.4.2 结果与分析 | 第29-30页 |
| 2.5 气液界面法 | 第30-32页 |
| 2.5.1 实验部分 | 第30-31页 |
| 2.5.2 结果与讨论 | 第31-32页 |
| 2.6 本章小结 | 第32-34页 |
| 第三章 纳米柱的制备与分析 | 第34-46页 |
| 3.1 GaN基外延片制作 | 第34页 |
| 3.2 GaN基纳米柱制作的关键工艺 | 第34-38页 |
| 3.3 实验部分 | 第38-39页 |
| 3.4 结果分析 | 第39-44页 |
| 3.4.1 样品形貌分析 | 第39-41页 |
| 3.4.2 光谱分析 | 第41-44页 |
| 3.5 本章小结 | 第44-46页 |
| 第四章 Ag纳米颗粒表面等离子体纳米柱 | 第46-55页 |
| 4.1 表面等离子体 | 第46-48页 |
| 4.1.1 局域表面等离子体 | 第46-47页 |
| 4.1.2 表面等离子体增强LED内量子效率 | 第47-48页 |
| 4.2 实验部分 | 第48-49页 |
| 4.3 结果与分析 | 第49-54页 |
| 4.4 本章小结 | 第54-55页 |
| 总结与展望 | 第55-57页 |
| 参考文献 | 第57-63页 |
| 攻读硕士学位期间取得的研究成果 | 第63-64页 |
| 致谢 | 第64-65页 |
| 附件 | 第65页 |
