基于分布柔度式平面柔顺机构的微定位平台研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-21页 |
| 1.1 引言 | 第9-10页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第10-19页 |
| 1.2.1 微定位平台研究现状 | 第10-15页 |
| 1.2.2 柔顺机构研究现状 | 第15-18页 |
| 1.2.3 控制方式研究现状 | 第18-19页 |
| 1.3 课题的研究意义 | 第19-20页 |
| 1.4 课题的研究内容 | 第20-21页 |
| 第二章 分布柔度式平面柔顺机构运动学分析 | 第21-28页 |
| 2.1 引言 | 第21页 |
| 2.2 分布柔度式平面柔顺机构模型 | 第21-23页 |
| 2.3 求解Jacobian矩阵 | 第23-25页 |
| 2.4 分布柔度式平面柔顺机构运动学仿真 | 第25-27页 |
| 2.5 本章小结 | 第27-28页 |
| 第三章 分布柔度式平面柔顺机构动力学分析 | 第28-40页 |
| 3.1 引言 | 第28页 |
| 3.2 分布柔度式平面柔顺机构刚体动力学模型 | 第28-31页 |
| 3.3 分布柔度式平面柔顺机构弹性动力学模型 | 第31-36页 |
| 3.3.1 梁单元动力学模型 | 第31-34页 |
| 3.3.2 系统的约束方程 | 第34-36页 |
| 3.3.3 系统的动力学方程 | 第36页 |
| 3.4 模态分析 | 第36-39页 |
| 3.4.1 理论基础 | 第36-37页 |
| 3.4.2 有限元仿真 | 第37-39页 |
| 3.5 本章小结 | 第39-40页 |
| 第四章 分布柔度式平面柔顺机构控制系统设计 | 第40-55页 |
| 4.1 引言 | 第40页 |
| 4.2 滑模变结构控制的基本理论 | 第40-48页 |
| 4.2.1 滑模变结构的定义 | 第41-42页 |
| 4.2.2 滑模变结构的三大要素 | 第42-44页 |
| 4.2.3 滑模面的设计 | 第44-46页 |
| 4.2.4 系统抖振问题的研究 | 第46-48页 |
| 4.3 SMC控制系统的设计 | 第48-52页 |
| 4.3.1 S-Function函数简介 | 第48页 |
| 4.3.2 SMC控制系统框图 | 第48-49页 |
| 4.3.3 SMC控制器的设计 | 第49-52页 |
| 4.4 仿真分析 | 第52-54页 |
| 4.5 本章小结 | 第54-55页 |
| 第五章 分布柔度式平面柔顺机构实验研究 | 第55-65页 |
| 5.1 引言 | 第55页 |
| 5.2 实验平台的组成 | 第55-60页 |
| 5.2.1 压电陶瓷驱动器 | 第56-57页 |
| 5.2.2 压电陶瓷控制器 | 第57-59页 |
| 5.2.3 双频激光干涉仪 | 第59-60页 |
| 5.3 实验分析 | 第60-64页 |
| 5.3.1 输出耦合实验 | 第60-61页 |
| 5.3.2 定位精度实验 | 第61-63页 |
| 5.3.3 运动轨迹分析 | 第63-64页 |
| 5.4 本章小结 | 第64-65页 |
| 第六章 总结与展望 | 第65-67页 |
| 6.1 总结 | 第65-66页 |
| 6.2 展望 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-72页 |
| 致谢 | 第72-73页 |
| 攻读学位期间的研究成果 | 第73-74页 |
