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双层硅基MEMS微带天线阵列研究

摘要第1-6页
Abstract第6-11页
第1章 绪论第11-17页
   ·本论文研究的目的和意义第11-12页
   ·国内外研究现状及发展趋势第12-13页
   ·本论文主要工作和结构安排第13-17页
第2章 微带天线理论基础第17-23页
   ·微带天线的基本结构与理论基础第17-18页
     ·微带天线的基本结构第17-18页
     ·微带天线的辐射机理第18页
   ·微带天线的分析方法第18-20页
     ·传输线模型理论第19页
     ·空腔模型理论第19页
     ·全波模型法第19-20页
   ·微带天线的特性参数第20-22页
     ·微带天线的电路参数第20-21页
     ·微带天线的辐射参数第21页
     ·微带天线的 S 参数第21-22页
   ·本章小结第22-23页
第3章 双层硅基微带天线单元的研究与设计第23-35页
   ·双层硅基微带天线单元的设计第23-28页
     ·介质基底的设计第23-25页
     ·微带贴片尺寸的计算第25-26页
     ·馈电设计与阻抗匹配第26-27页
     ·介质基底长度 Lg 和宽度 Wg 的计算第27-28页
   ·双层硅基微带天线单元的仿真分析第28-33页
     ·带宽仿真分析第29-30页
     ·S 参数分析第30-31页
     ·方向性分析第31-32页
     ·输入阻抗分析第32-33页
   ·本章小结第33-35页
第4章 缺陷地结构的设计与应用第35-47页
   ·缺陷地结构的设计第35-41页
     ·U 型哑铃 DGS 的设计第35-36页
     ·U 型哑铃 DGS 的特性分析第36-38页
     ·U 型哑铃 DGS 的参数提取第38-41页
   ·U 型哑铃 DGS 在天线中的应用第41-45页
     ·U 型哑铃 DGS 在天线单元中的设计第42-43页
     ·加入 U 型哑铃 DGS 后天线单元的结果分析第43-45页
   ·本章小结第45-47页
第5章 双单元与四单元微带天线阵列的设计与分析第47-63页
   ·微带天线阵列设计理论第47-50页
     ·微带线阵第48-49页
     ·微带面阵第49-50页
   ·微带天线阵列馈电结构设计第50-52页
     ·并联馈电第51页
     ·串联馈电第51-52页
   ·双单元微带天线阵列的设计与分析第52-56页
     ·双单元微带天线阵列的馈电设计第52-53页
     ·双单元微带天线阵列的结构设计第53-54页
     ·双单元微带天线阵列的仿真分析第54-56页
   ·四单元微带天线阵列的设计与分析第56-62页
     ·四单元微带天线阵列的馈电设计第57-58页
     ·四单元微带天线阵列的结构设计第58-59页
     ·四单元微带天线阵列的仿真分析第59-62页
   ·本章小结第62-63页
第6章 双层硅基 MEMS 微带天线阵列的制作与测试第63-69页
   ·微带天线阵列 MEMS 加工工艺第63-65页
     ·键合技术第63-64页
     ·薄膜淀积第64页
     ·光刻第64-65页
     ·刻蚀第65页
   ·MEMS 微带天线版图设计第65-66页
   ·MEMS 微带天线加工工艺流程设计第66-68页
   ·本章小结第68-69页
结论第69-71页
参考文献第71-76页
攻读学位期间发表论文与研究成果清单第76-77页
致谢第77页

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