| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-16页 |
| ·氮化镓半导体材料及其器件 | 第8-12页 |
| ·GaN材料的特性 | 第8-9页 |
| ·GaN材料的制备 | 第9-11页 |
| ·GaN器件及其应用 | 第11-12页 |
| ·GaN基肖特基二极管的国内外研究现状和存在的问题 | 第12-14页 |
| ·研究现状 | 第12-13页 |
| ·问题与挑战 | 第13-14页 |
| ·论文的主要研究内容及架构 | 第14-16页 |
| 第二章 金属-半导体肖特基接触的经典理论 | 第16-27页 |
| ·金属-半导体接触的基础理论 | 第16-18页 |
| ·金属-半导体的功函数 | 第16页 |
| ·接触电势差 | 第16-17页 |
| ·表面态对势垒的影响 | 第17-18页 |
| ·金属-半导体接触的分类 | 第18-20页 |
| ·肖特基接触 | 第18-20页 |
| ·欧姆接触 | 第20页 |
| ·肖特基接触的电流输运理论 | 第20-23页 |
| ·热电子发射电流 | 第21-22页 |
| ·隧穿电流 | 第22页 |
| ·产生和复合电流 | 第22页 |
| ·边缘漏泄电流 | 第22-23页 |
| ·Frenkel-Poole输运机制理论 | 第23页 |
| ·器件参数提取方法 | 第23-26页 |
| ·基于I-V测试提取势垒高度和理想因子 | 第24-25页 |
| ·基于C-V测试提取势垒高度和掺杂浓度 | 第25页 |
| ·样品串联电阻的计算方法 | 第25-26页 |
| ·测试和分析方法 | 第26页 |
| ·本章小结 | 第26-27页 |
| 第三章Ni-Au/AlGaN/GaN异质结肖特基二极管的电学特性研究 | 第27-38页 |
| ·Al GaN/GaN异质结结构 | 第27-30页 |
| ·AlGaN/GaN异质结的极化效应 | 第27-29页 |
| ·AlGaN/GaN异质结 2DEG的形成机理 | 第29-30页 |
| ·AlGaN/GaN异质结的能带图 | 第30页 |
| ·Al GaN/GaN异质结肖特基二极管的制备 | 第30-31页 |
| ·Al GaN/GaN异质结肖特基二极管的电学特性分析 | 第31-37页 |
| ·AlGaN/GaN异质结肖特基二极管的正向特性研究 | 第31-35页 |
| ·AlGaN/GaN异质结肖特基二极管的反向特性研究 | 第35-37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 第四章Ni-Au/n-GaN肖特基二极管的电学特性研究 | 第38-48页 |
| ·Ni-Au/n-GaN肖特基二极管的制备 | 第38页 |
| ·Ni-Au/n-GaN肖特基二极管的电学特性分析 | 第38-42页 |
| ·GaN肖特基二极管电流输运机制概况 | 第38-39页 |
| ·Ni-Au/n-GaN肖特基二极管的正向电学特性 | 第39-40页 |
| ·Ni-Au/n-GaN肖特基二极管的反向电学特性 | 第40-42页 |
| ·Ni-Au/n-GaN肖特基二极管的反向退化特性 | 第42-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 第五章 总结与展望 | 第48-50页 |
| ·总结 | 第48-49页 |
| ·展望 | 第49-50页 |
| 致谢 | 第50-51页 |
| 参考文献 | 第51-57页 |
| 附录:作者在攻读硕士学位期间发表的论文 | 第57页 |
