新型压力传感器件及基于薄膜晶体管集成的研究
| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-9页 |
| 目录 | 第9-11页 |
| 符号说明 | 第11-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-20页 |
| ·研究背景 | 第12-13页 |
| ·相关工作及国内外研究现状 | 第13-18页 |
| ·压力传感器的分类 | 第13-14页 |
| ·应用于电子皮肤的压力传感器件 | 第14-16页 |
| ·应用在其他应用中的压力传感器件 | 第16-18页 |
| ·压力传感器与晶体管集成的应用 | 第18页 |
| ·主要工作和章节安排 | 第18-20页 |
| 第二章 电容式压力传感器件的制备和分析 | 第20-36页 |
| ·电容式压力传感器的组成材料 | 第20-23页 |
| ·聚二甲基硅氧烷 | 第21-22页 |
| ·银纳米线 | 第22-23页 |
| ·电容式压力传感器件的制备工艺 | 第23-26页 |
| ·测试方法 | 第26-30页 |
| ·前置放大电路的设计 | 第26-28页 |
| ·利用仪器搭建的测试平台 | 第28-30页 |
| ·实验结果与分析讨论 | 第30-34页 |
| ·聚二甲基硅氧烷与压力灵敏度的关系 | 第30-31页 |
| ·银纳米线电极与压力灵敏度的关系 | 第31-34页 |
| ·本章小结 | 第34-36页 |
| 第三章 薄膜晶体管的工作机理与性能分析 | 第36-52页 |
| ·结构及工作原理 | 第36-39页 |
| ·电学性能参数 | 第39-40页 |
| ·接触电阻对器件性能的影响 | 第40-48页 |
| ·导电沟道长度对接触电阻的影响 | 第41-42页 |
| ·漏极电压大小对接触电阻的影响 | 第42-45页 |
| ·接触电阻对器件电学参数的影响 | 第45-48页 |
| ·低电压溶液法氧化物薄膜晶体管技术 | 第48-50页 |
| ·本章小结 | 第50-52页 |
| 第四章 基于薄膜晶体管的压力传感器件的集成 | 第52-60页 |
| ·引言 | 第52页 |
| ·集成结构以及工作原理 | 第52-54页 |
| ·工艺集成方法 | 第54-55页 |
| ·结果与讨论 | 第55-59页 |
| ·施加不同顶栅极电压时器件的性能 | 第55-57页 |
| ·对器件施加压力时器件的性能 | 第57-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 第五章 工作总结与展望 | 第60-62页 |
| ·工作总结 | 第60页 |
| ·工作展望 | 第60-62页 |
| 参考文献 | 第62-66页 |
| 致谢 | 第66-68页 |
| 学术论文和科研成果目录 | 第68页 |
