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射频磁控溅射法制备P型Cu2O薄膜与性能研究

摘要第1-5页
Abstract第5-12页
第一章 绪论第12-25页
   ·引言第12-14页
   ·氧化亚铜简介第14-15页
     ·Cu_2O 薄膜的基本性质第14页
     ·Cu_2O 薄膜的光学性质第14-15页
     ·Cu_2O 薄膜的电学性质第15页
     ·Cu_2O 薄膜的其他性质第15页
   ·氧化亚铜的研究背景第15-17页
   ·氧化亚铜的制备方法第17-21页
     ·化学气相沉积法第17-18页
     ·热氧化法第18页
     ·电化学沉积法第18-19页
     ·溶胶-凝胶法第19页
     ·磁控溅射法第19-20页
     ·分子束外延法第20-21页
   ·Cu_2O 薄膜的研究进展第21-24页
     ·Cu_2O 薄膜的制备研究进展第21-22页
     ·Cu_2O 薄膜的掺杂研究进展第22页
     ·Cu_2O 薄膜在太阳能电池中的研究进展第22-24页
   ·本文研究思路及实验内容第24-25页
第二章 材料的制备与表征第25-35页
   ·实验原料第25页
   ·材料的制备第25-28页
     ·清洗衬底第25-26页
     ·射频磁控溅射方法和设备第26-28页
   ·材料的表征第28-35页
     ·材料表征的主要设备第28页
     ·X 射线衍射仪(X-ray diffractometer)第28-30页
     ·霍尔效应测试分析(Hall Effect)第30-32页
     ·原子力显微镜(Atomic Force Microscope)第32页
     ·紫外可见分光光度计(UV-Vis spectrophotometer)第32-33页
     ·X 射线光电子能谱(X-ray photoelectron spectroscopy)第33-34页
     ·其他测试方法第34-35页
第三章 Cu_2O 的第一性原理计算第35-47页
   ·第一性原理计算介绍第35-36页
   ·密度泛函理论第36-37页
   ·CASTEP 相关概念及计算参数设置第37-39页
     ·超晶胞第38页
     ·布里渊区第38页
     ·赝势第38页
     ·平面波截止能量第38-39页
     ·电子态密度第39页
   ·Cu_2O 第一性原理研究第39-46页
     ·体系优化第39-41页
     ·未掺杂的 Cu_2O 电子结构第41-42页
     ·N 掺杂的 Cu_2O 电子结构第42-46页
   ·本章小结第46-47页
第四章 磁控溅射法制备非掺杂 Cu_2O 薄膜及其性能第47-55页
   ·前言第47-48页
   ·溅射 Cu 靶制备 Cu_2O 靶材薄膜第48-53页
     ·XRD 分析第48页
     ·光学分析第48-50页
     ·AFM 分析第50-51页
     ·XPS 分析第51-53页
     ·电学分析第53页
   ·溅射 Cu_2O 靶制备 Cu_2O 靶材薄膜第53-54页
   ·本章小结第54-55页
第五章 磁控溅射法制备 p 型 N 掺杂 Cu_2O 薄膜及其性能第55-60页
   ·前言第55页
   ·XRD 分析第55页
   ·电学分析第55-56页
   ·光学分析第56-57页
   ·XPS 分析第57-59页
   ·本章小结第59-60页
第六章 P 型 Cu_2O 在薄膜太阳能电池上的应用探索第60-67页
   ·前言第60页
   ·Si 衬底上生长 Cu_2O 薄膜第60-62页
   ·FTO 衬底上生长 Cu_2O 薄膜第62页
   ·AZO 衬底上生长 Cu_2O 薄膜第62-66页
     ·XRD 分析第63-64页
     ·异质结测试第64-66页
   ·本章小结第66-67页
第七章 结论与展望第67-69页
   ·结论第67-68页
   ·展望第68-69页
参考文献第69-76页
致谢第76-77页
在学期间的研究成果及发表的学术论文第77页

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