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不锈钢表面阴极弧制备TiN薄膜及抗磨/耐锡腐蚀性能研究

摘要第1-5页
Abstract第5-9页
第1章 绪论第9-23页
   ·课题背景第9-10页
   ·波峰焊介绍第10-15页
     ·波峰焊原理第10-11页
     ·不锈钢材料钎料腐蚀情况第11-14页
     ·钛沾锡及被锡腐蚀情况第14-15页
   ·表面工程技术和TiN薄膜制备技术现状第15-20页
     ·表面工程强化技术简介第15-16页
     ·磁过滤阴极弧沉积的特点第16-17页
     ·磁过滤阴极弧的应用第17-20页
   ·氮化钛薄膜材料简介第20-21页
     ·氮化钛材料特性第20页
     ·氮化钛材料的应用第20-21页
     ·氮化钛薄膜的主要制备方法第21页
   ·本课题研究的内容第21-23页
第2章 实验设备、方法及分析检测手段第23-32页
   ·实验设备第23-24页
   ·实验材料与试样的制备第24页
   ·实验方法与工艺研究第24-27页
     ·气体离子源清洗第24-25页
     ·磁过滤阴极弧沉积TiN薄膜工艺第25-27页
   ·分析检测方法第27-32页
     ·膜层表面形貌观测第27页
     ·SEM扫描电镜观察第27页
     ·XRD(X-Ray Diffraction)分析第27页
     ·膜基结合力测试第27-28页
     ·硬度测试第28页
     ·摩擦磨损性能测试第28页
     ·电化学腐蚀测试第28-29页
     ·润湿角测试第29页
     ·润湿力测试第29-30页
     ·表面能测试第30页
     ·抗沾锡性能测试第30-31页
     ·抗锡腐蚀性能测试第31-32页
第3章 FCVAD制备TiN薄膜性能研究第32-47页
   ·引言第32页
   ·膜层表面形貌观测第32-35页
   ·X-Ray Diffraction (XRD)分析第35-37页
   ·膜基结合力测试第37-40页
   ·硬度测试第40-41页
   ·摩擦磨损性能测试第41-43页
   ·腐蚀测试第43-45页
   ·本章小结第45-47页
第4章 TiN薄膜的抗锡润湿和耐锡腐蚀性能研究第47-58页
   ·引言第47页
   ·润湿性能测试第47-51页
   ·沾锡性能测试第51-53页
   ·薄膜抗锡腐蚀性能测试第53-57页
   ·本章小结第57-58页
结论第58-59页
参考文献第59-63页
致谢第63页

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