基于掩膜—无掩膜腐蚀技术的AFM探针制作方法研究

目录	第1-5页
摘要	第5-6页
Abstract	第6-8页
第一章 扫描隧道显微镜概述	第8-19页
·典型的扫描探针显微镜	第8-15页
·扫描探针显微镜的优点及其局限性	第15-19页
第二章 AFM工作模式	第19-39页
·AFM针尖-样品间的相互作用力	第19-22页
·悬臂梁形变的检测方式	第22-23页
·接触模式(Contact AFM)	第23-24页
·轻敲模式(AM AFM)	第24-29页
·概述	第24-25页
·工作原理	第25-28页
·轻敲模式的特点	第28-29页
·非接触模式(FM AFM)	第29-39页
·概述	第29-31页
·工作原理	第31-34页
·阻尼和噪声	第34-39页
第三章 AFM探针描述	第39-44页
·AFM探针的材料与结构	第39-40页
·AFM对探针的要求	第40-44页
第四章 掩膜—无掩膜腐蚀AFM探针工艺流程	第44-73页
·微机械加工技术在AFM探针制作中的应用	第44-49页
·利用掩膜—无掩膜腐蚀工艺制作AFM硅探针	第49-56页
·有掩膜腐蚀针尖	第49-52页
·无掩膜腐蚀悬臂梁	第52-54页
·掩膜—无掩膜腐蚀AFM探针工艺流程	第54-56页
·研发过程中为提高产品性能和成品率所采取的措施	第56-66页
·导电探针制作工艺	第66-73页
·利用金属镀层实现导电探针	第67页
·重掺杂导电探针	第67-73页
第五章 AFM探针扫描实验	第73-79页
·AFM探针几何结构和力学特性测试	第73-75页
·AFM探针扫描实验	第75-79页
建议与展望	第79-80页
科研成果及项目资助	第80-81页
致谢	第81页