面向灵巧蒙皮的微型剪应力传感器设计与仿真

第一章 绪论	第1-17页
·微型机电系统与灵巧蒙皮	第7-10页
·灵巧蒙皮用微型剪应力传感器特征	第10-14页
·微型剪应力传感器研究现状	第14-15页
·论文的研究内容和意义	第15-17页
第二章 微型剪应力传感器	第17-26页
·光反射微型剪应力传感器	第17-19页
·光散射微型剪应力传感器	第19-21页
·梳齿电容式微型剪应力传感器	第21-22页
·热敏式微型剪应力传感器	第22-24页
·本章小结	第24-26页
第三章 梳齿电容式微型剪应力传感器结构和工艺设计	第26-37页
·梳齿电容式微型剪应力传感器工作原理	第26-30页
·边界层分离	第26-28页
·梳齿电容式微型剪应力传感器测量原理	第28-30页
·梳齿电容式微型剪应力传感器结构设计	第30-34页
·薄膜材料的特性	第30-31页
·工艺尺寸和加工误差	第31-32页
·梳齿电容式微型剪应力传感器结构	第32-33页
·梳齿电容式微型剪应力传感器结构参数	第33-34页
·梳齿电容式微型剪应力传感器工艺设计	第34-36页
·本章小结	第36-37页
第四章 热敏式微型剪应力传感器工艺和结构设计	第37-50页
·热敏式微型剪应力传感器工作原理	第37-42页
·热边界层理论和发展	第37-39页
·热敏式微型剪应力传感器测量原理	第39-42页
·热敏式微型剪应力传感器结构设计	第42-44页
·热敏式微型剪应力传感器工艺设计	第44-46页
·热敏式微型剪应力传感器阵列	第46-49页
·本章小结	第49-50页
第五章 微型剪应力传感器行为仿真	第50-60页
·梳齿电容式微型剪应力传感器结构仿真	第50-56页
·模型的建立	第50-51页
·前置处理	第51-52页
·仿真结果	第52-54页
·结果验证	第54-56页
·热敏式微型剪应力传感器结构传热分析	第56-59页
·模型的建立	第56-57页
·前置处理	第57-58页
·仿真结果	第58-59页
·本章小结	第59-60页
总结与展望	第60-62页
总结	第60-61页
展望	第61-62页
参考文献	第62-66页
致谢	第66-67页