微小型MEMS陀螺的误差特性研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-17页 |
| 第一章 绪论 | 第17-26页 |
| ·MEMS 陀螺概述 | 第17-18页 |
| ·MEMS 陀螺的基本理论 | 第18-21页 |
| ·MEMS 陀螺的工作原理 | 第18-19页 |
| ·MEMS 陀螺的分类 | 第19-20页 |
| ·MEMS 陀螺主要性能指标 | 第20-21页 |
| ·MEMS 陀螺误差特性的国内外研究现状 | 第21-23页 |
| ·论文的研究背景及意义 | 第23-24页 |
| ·论文主要研究内容 | 第24-26页 |
| 第二章 MEMS 陀螺仿真建模研究 | 第26-42页 |
| ·引言 | 第26页 |
| ·MEMS 陀螺动力学模型 | 第26-28页 |
| ·MEMS 陀螺建模方法 | 第28-31页 |
| ·建模级别分类 | 第28-29页 |
| ·建模方法比较分析 | 第29-31页 |
| ·MEMS 陀螺仿真建模 | 第31-41页 |
| ·MEMS 陀螺有限元法建模 | 第31-33页 |
| ·MEMS 陀螺等效电路模型 | 第33-36页 |
| ·基于VHDL-AMS 的MEMS 陀螺建模 | 第36-38页 |
| ·基于SIMULINK 的MEMS 陀螺建模 | 第38-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 第三章 MEMS 陀螺机械热噪声特性研究 | 第42-49页 |
| ·引言 | 第42页 |
| ·机械热噪声 | 第42-44页 |
| ·机械热噪声建模 | 第42-43页 |
| ·影响机械热噪声的因素分析 | 第43-44页 |
| ·相关滤波分析 | 第44-47页 |
| ·相关滤波基本理论 | 第44-46页 |
| ·机械热噪声相关滤波研究 | 第46-47页 |
| ·仿真验证 | 第47-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 第四章 MEMS 陀螺温度特性研究 | 第49-59页 |
| ·引言 | 第49页 |
| ·硅微机械陀螺温度特性研究 | 第49-50页 |
| ·石英音叉陀螺温度特性研究 | 第50-54页 |
| ·温度对弹性刚度常数的影响 | 第51页 |
| ·温度对音叉尺寸的影响 | 第51-52页 |
| ·温度对晶体密度的影响 | 第52页 |
| ·石英音叉陀螺热分析 | 第52-53页 |
| ·温度对陀螺零偏影响研究 | 第53-54页 |
| ·MEMS 陀螺温度补偿 | 第54-58页 |
| ·最小二乘法温度补偿 | 第55-56页 |
| ·BP 神经网络温度补偿 | 第56-58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 第五章 MEMS 陀螺正交误差特性研究 | 第59-67页 |
| ·引言 | 第59页 |
| ·MEMS 陀螺结构误差分析 | 第59-61页 |
| ·不等弹性 | 第59-60页 |
| ·阻尼不对称 | 第60-61页 |
| ·考虑结构误差的动力学方程 | 第61页 |
| ·正交误差特性研究 | 第61-66页 |
| ·基于平均化方法的正交误差特性分析 | 第61-64页 |
| ·输入角速度信号的提取 | 第64-65页 |
| ·仿真分析 | 第65-66页 |
| ·本章小结 | 第66-67页 |
| 第六章 MEMS 陀螺闭环检测技术研究 | 第67-78页 |
| ·引言 | 第67页 |
| ·MEMS 陀螺检测模型建立与仿真研究 | 第67-72页 |
| ·开环检测建模与仿真研究 | 第67-68页 |
| ·闭环检测建模与仿真研究 | 第68-72页 |
| ·闭环检测模式下正交误差研究 | 第72-74页 |
| ·闭环检测模式下正交误差分析 | 第72-73页 |
| ·仿真分析 | 第73-74页 |
| ·开环检测与闭环检测性能比较分析 | 第74-77页 |
| ·零偏稳定性测试 | 第74-75页 |
| ·标度因数测试 | 第75-76页 |
| ·标度因数温度灵敏度测试 | 第76-77页 |
| ·本章小结 | 第77-78页 |
| 第七章 总结与展望 | 第78-80页 |
| ·全文主要工作总结 | 第78-79页 |
| ·后续研究工作展望 | 第79-80页 |
| 参考文献 | 第80-86页 |
| 致谢 | 第86-87页 |
| 在学期间的研究成果及发表的学术论文 | 第87页 |
