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氧化锌薄膜光学和光电导特性的研究

摘要第1-4页
Abstract第4-7页
第一章 ZnO材料研究综述第7-13页
   ·引言第7页
   ·ZnO材料的结构和性质第7-9页
   ·ZnO纳米材料的制备方法第9-10页
   ·ZnO纳米材料的应用及研究进展第10-12页
   ·本课题的研究内容和意义第12-13页
第二章 PLD镀膜技术及ZnO薄膜的制备和测量第13-20页
   ·脉冲激光沉积技术第13-16页
   ·ZnO薄膜的制备过程和测量手段第16-20页
第三章 生长参数对氧化锌薄膜结构和光学性质的影响第20-31页
   ·引言第20页
   ·生长参数对氧化锌薄膜的影响第20-24页
   ·退火对氧化锌薄膜结构和光学性质的影响第24-26页
   ·氧化锌紫外发射的研究第26-27页
   ·氧化锌深能级发射的研究第27-30页
   ·小结第30-31页
第四章 光电探测器结构对光响应特性的影响第31-38页
   ·引言第31页
   ·半导体光电导的基本原理第31-33页
   ·样品的制备和测量第33-35页
   ·不同结构探测器的光响应及其原理第35-37页
   ·小结第37-38页
全文总结第38-39页
参考文献第39-45页
发表论文第45-46页
致谢第46页

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