| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 第一章 AZO薄膜材料的综述 | 第8-15页 |
| ·引言 | 第8-9页 |
| ·AZO薄膜材料的结构和基本性质 | 第9-10页 |
| ·AZO薄膜材料的结构 | 第9页 |
| ·AZO薄膜的导电机理与电学性质 | 第9页 |
| ·AZO薄膜的光学性质 | 第9-10页 |
| ·AZO薄膜的应用前景 | 第10-11页 |
| ·AZO薄膜的制备方法 | 第11-12页 |
| ·化学气相沉积法(CVD) | 第11页 |
| ·磁控溅射(MagnetronSputtering,MS)法 | 第11页 |
| ·溶胶-凝胶(Sol-Gel)法 | 第11-12页 |
| ·AZO薄膜材料的研究状况与进展 | 第12-13页 |
| ·AZO薄膜研究工作的发展趋势和方向 | 第13-15页 |
| 第二章 PLD技术制备AZO薄膜与表征方法 | 第15-21页 |
| ·脉冲激光沉积(PLD)技术 | 第15-16页 |
| ·PLD原理 | 第15页 |
| ·PLD特点 | 第15-16页 |
| ·脉冲激光沉积系统 | 第16-18页 |
| ·激光光源 | 第16-17页 |
| ·沉积系统 | 第17-18页 |
| ·AZO薄膜的制备工艺 | 第18页 |
| ·影响AZO薄膜特性的参数 | 第18-19页 |
| ·衬底温度 | 第18页 |
| ·氧气压强 | 第18-19页 |
| ·源基距 | 第19页 |
| ·AZO薄膜性质表征 | 第19-21页 |
| ·AZO薄膜的结构表征 | 第19-20页 |
| ·AZO薄膜的光学特性的表征 | 第20-21页 |
| 第三章 不同生长参数对薄膜结构及光学特性的影响 | 第21-32页 |
| ·生长温度对AZO薄膜结构的影响 | 第21-27页 |
| ·实验过程 | 第21页 |
| ·样品的XRD分析 | 第21-25页 |
| ·样品的表面形貌 | 第25-27页 |
| ·氧气氛压强对AZO薄膜结构的影响 | 第27-29页 |
| ·实验过程 | 第27页 |
| ·样品的XRD分析 | 第27-29页 |
| ·AZO薄膜的透射光谱和吸收光谱 | 第29-31页 |
| ·不同温度下生长样品的透射光谱和吸收光谱 | 第29-30页 |
| ·不同生长气氛压强样品的透射光谱和吸收光谱 | 第30-31页 |
| ·小结 | 第31-32页 |
| 第四章 溶胶-凝胶法生长AZO薄膜的结构特性以及光电性质 | 第32-39页 |
| ·引言 | 第32页 |
| ·溶胶-凝胶法生长AZO薄膜的实验过程 | 第32-33页 |
| ·溶胶的制备 | 第32-33页 |
| ·薄膜的制备及退火 | 第33页 |
| ·薄膜的表征 | 第33页 |
| ·溶胶-凝胶法制备AZO薄膜的结构特性 | 第33-38页 |
| ·小结 | 第38-39页 |
| 参考文献 | 第39-44页 |
| 在校期间发表论文 | 第44-45页 |
| 致谢 | 第45页 |