| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-26页 |
| 1.1 微陀螺仪概述 | 第10-12页 |
| 1.1.1 陀螺仪的性能指标 | 第11页 |
| 1.1.2 微陀螺仪的分类 | 第11-12页 |
| 1.2 微圆盘多环谐振陀螺的研究概况 | 第12-23页 |
| 1.2.1 微振动陀螺仪的发展进程 | 第12-19页 |
| 1.2.2 微圆盘多环谐振陀螺的国内外研究概况 | 第19-23页 |
| 1.3 本课题的研究内容和研究意义 | 第23-24页 |
| 1.3.1 研究内容 | 第23-24页 |
| 1.3.2 研究意义 | 第24页 |
| 1.4 论文结构 | 第24-25页 |
| 1.5 本章小结 | 第25-26页 |
| 第二章 微圆盘多环谐振陀螺的结构特点及其工作原理 | 第26-32页 |
| 2.1 结构特点 | 第26-27页 |
| 2.2 工作原理 | 第27-30页 |
| 2.3 本章小结 | 第30-32页 |
| 第三章 硅微圆盘多环谐振陀螺的方案设计及可行性分析 | 第32-43页 |
| 3.1 硅微圆盘多环谐振陀螺的设计方案 | 第32-37页 |
| 3.1.1 结构设计 | 第32-35页 |
| 3.1.2 材料选取及加工工艺 | 第35-37页 |
| 3.2 对设计方案的可行性分析 | 第37-42页 |
| 3.3 本章小结 | 第42-43页 |
| 第四章 硅微圆盘多环谐振陀螺的具体工艺实施 | 第43-59页 |
| 4.1 具体工艺方案及实施 | 第43-54页 |
| 4.1.1 准备阶段 | 第44-47页 |
| 4.1.2 加工阶段 | 第47-53页 |
| 4.1.3 后续阶段 | 第53-54页 |
| 4.2 工艺实施过程中的问题及解决方案 | 第54-58页 |
| 4.2.1 基底制作过程中的问题及解决方案 | 第54-56页 |
| 4.2.2 阳极键合过程中的问题及解决方案 | 第56页 |
| 4.2.3 电极和圆盘多环谐振器制作过程中的问题及解决方案 | 第56-58页 |
| 4.3 本章小结 | 第58-59页 |
| 第五章 硅微圆盘多环谐振陀螺的测试 | 第59-62页 |
| 5.1 阻抗分析测试 | 第59-61页 |
| 5.2 激光振动测试 | 第61页 |
| 5.3 本章小结 | 第61-62页 |
| 第六章 总结与展望 | 第62-64页 |
| 6.1 全文总结 | 第62-63页 |
| 6.2 研究展望 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |
| 攻读硕士学位期间已发表或录用的论文及申请的专利 | 第69页 |