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p型掺杂和量子阱结构对GaN基LED光电性能影响的研究

摘要第3-5页
abstract第5-6页
第1章 绪论第9-26页
    1.1 固态照明概述第9-11页
    1.2 LED的发展历史第11-14页
    1.3 GaN基LED的三大技术路线第14-16页
    1.4 LED的性能指标第16-20页
        1.4.1 LED的量子效率第16-18页
        1.4.2 LED的效率droop现象第18-20页
    1.5 载流子的匹配度—效率提升的关键第20-25页
        1.5.1 GaN的p型掺杂第20-22页
        1.5.2 电子阻挡层对空穴的注入的影响第22-23页
        1.5.3 V型坑对空穴注入的影响第23-25页
    1.6 本论文结构安排第25-26页
第2章 Si衬底GaN基LED外延生长、器件制备及性能表征方法第26-36页
    2.1 Si衬底GaN基LED的外延生长第26-29页
        2.1.1 GaN基LED外延生长技术第26-27页
        2.1.2 Si衬底GaN基LED外延生长工艺第27-29页
    2.2 Si衬底GaN基LED的器件制造第29-31页
    2.3 GaN基LED的性能表征方法第31-36页
        2.3.1 高分辨率X射线衍射(HRXRD)第31-32页
        2.3.2 二次离子质谱仪(SIMS)第32-34页
        2.3.3 电致发光测试技术(EL)第34-36页
第3章 p型AlGaN中Mg预通对GaN基LED光电性能的影响第36-53页
    3.1 引言第36-37页
    3.2 实验第37-39页
    3.3 结果与讨论第39-50页
        3.3.1 p-AlGaNEBLMg预通对蓝光、绿光和黄光LEDp-AlGaNEBL掺杂浓度的影响第39-40页
        3.3.2 p-AlGaNEBLMg预通对蓝光LED光电性能的影响第40-44页
        3.3.3 p-AlGaNEBLMg预通对绿光LED光电性能的影响第44-48页
        3.3.4 p-AlGaNEBLMg预通对黄光LED光电性能的影响第48-50页
    3.4 本章小结第50-53页
第4章 限制阱和发光阱相组合的量子阱结构对InGaN/GaN绿光LED光电性能的影响第53-63页
    4.1 引言第53-54页
    4.2 实验第54-55页
    4.3 结果与讨论第55-61页
    4.4 本章小结第61-63页
第5章 总结第63-64页
致谢第64-65页
参考文献第65-70页
攻读学位期间的研究成果第70页

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