| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-13页 |
| 1.1 课题研究的背景 | 第9页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第9-11页 |
| 1.3 课题研究目的及意义 | 第11页 |
| 1.4 论文组织结构 | 第11-13页 |
| 第2章 提拉系统的结构和原理 | 第13-23页 |
| 2.1 提拉法综述 | 第13-15页 |
| 2.2 提拉法的主要流程 | 第15-20页 |
| 2.2.1 装料、熔料 | 第15页 |
| 2.2.2 籽晶与熔硅的熔接 | 第15-16页 |
| 2.2.3 引晶阶段 | 第16-17页 |
| 2.2.4 放肩和转肩阶段 | 第17-18页 |
| 2.2.5 等径阶段 | 第18-19页 |
| 2.2.6 收尾阶段 | 第19-20页 |
| 2.3 晶体生长理论 | 第20-22页 |
| 2.4 本章小结 | 第22-23页 |
| 第3章 单晶硅直径测量的研究 | 第23-29页 |
| 3.1 边缘检测的现状 | 第23-24页 |
| 3.2 亚像素的边缘检测的提出 | 第24-26页 |
| 3.2.1 亚像素技术的基本原理 | 第25页 |
| 3.2.2 灰度矩边缘定位法 | 第25-26页 |
| 3.3 单晶硅直径的测量算法 | 第26-28页 |
| 3.4 本章小结 | 第28-29页 |
| 第4章 基于神经网络 PID的提拉系统研究 | 第29-41页 |
| 4.1 提拉系统中电机模型的建立 | 第29-31页 |
| 4.2 传统 PID 控制 | 第31-32页 |
| 4.3 传统 PID 控制在提拉系统应用中的缺陷 | 第32-33页 |
| 4.4 人工神经元网络概述 | 第33-34页 |
| 4.5 神经网络 PID 的特点 | 第34-35页 |
| 4.6 神经网络 PID 原理 | 第35-37页 |
| 4.7 神经网络 PID 的 MATLAB 仿真 | 第37-40页 |
| 4.7.1 传统 PID 控制系统仿真 | 第37-38页 |
| 4.7.2 神经网络 PID 控制系统仿真 | 第38-40页 |
| 4.8 本章小结 | 第40-41页 |
| 第5章 神经网络 PID控制的硬件实现 | 第41-51页 |
| 5.1 MCGS 组态软件简介 | 第41-43页 |
| 5.2 现场数据的采集和输出 | 第43页 |
| 5.3 PLC 与 MATLAB 间的通信组态 | 第43-44页 |
| 5.3.1 MCGS 与 PLC 间的通讯连接 | 第43页 |
| 5.3.2 MCGS 与 MATLAB 间的通讯连接 | 第43-44页 |
| 5.4 神经网络算法在 MATLAB 软件中的实现过程 | 第44-46页 |
| 5.5 STEP7 的硬件组态 | 第46-47页 |
| 5.6 PLC 中 PID 算法实现 | 第47-48页 |
| 5.7 编写程序 | 第48-49页 |
| 5.8 本章小结 | 第49-51页 |
| 结论 | 第51-53页 |
| 附录 | 第53-57页 |
| 附录A | 第53页 |
| 附录B | 第53-57页 |
| 参考文献 | 第57-61页 |
| 攻读硕士学位期间所发表的论文 | 第61-63页 |
| 致谢 | 第63页 |