三轴超精密铣床几何与热误差的建模与补偿

摘要	第4-5页
Abstract	第5页
1 绪论	第8-19页
1.1 课题来源	第8页
1.2 研究背景及意义	第8-9页
1.3 研究综述	第9-17页
1.4 主要工作	第17-19页
2 三轴超精密铣床结构方案分析	第19-35页
2.1 两种机床结构的有限元分析	第19-27页
2.2 超精密机床的模态测量实验	第27-30页
2.3 超精密三轴铣床驱动系统的优选	第30-34页
2.4 本章小结	第34-35页
3 三轴超精密机床的空间几何误差建模与补偿	第35-51页
3.1 空间几何误差建模	第35-41页
3.2 误差模型实验验证	第41-47页
3.3 机床空间几何误差的补偿	第47-50页
3.4 本章小结	第50-51页
4 超精密铣床电主轴热误差辨识与补偿	第51-61页
4.1 电主轴轴向热误差的辨识	第51-55页
4.2 基于三元二次回归方法的热误差建模	第55-57页
4.3 基于人工神经网络方法的热误差建模	第57-60页
4.4 两种建模方法精度的对比	第60页
4.5 本章小结	第60-61页
5 结论及展望	第61-63页
5.1 结论	第61页
5.2 展望	第61-63页
致谢	第63-64页
参考文献	第64-69页
附录 攻读学位期间发表学术论文目录	第69页