| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-14页 |
| 1.1 科学意义及应用前景 | 第9-10页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第10-12页 |
| 1.3 课题背景及研究意义 | 第12-13页 |
| 1.4 主要研究内容和论文结构 | 第13-14页 |
| 第2章 静电吸附电极的吸附机理研究和分析 | 第14-24页 |
| 2.1 引言 | 第14-17页 |
| 2.1.1 静电吸附在静电抓手应用中的主要特点分析 | 第14-15页 |
| 2.1.2 静电吸附电极选型 | 第15-17页 |
| 2.2 静电吸附电极的基本工作原理研究 | 第17-20页 |
| 2.2.1 双极型静电吸附电极工作原理 | 第17-18页 |
| 2.2.2 静电吸附电极吸附力的主要影响因素分析 | 第18-20页 |
| 2.3 基于库伦作用的静电吸附电极吸附力分析 | 第20-23页 |
| 2.3.1 电场力的一般计算表达式 | 第20-21页 |
| 2.3.2 基于库伦作用的静电吸附电极吸附力分析 | 第21-22页 |
| 2.3.3 静电吸附电极绝缘层参数影响分析 | 第22-23页 |
| 2.4 小结 | 第23-24页 |
| 第3章 静电吸附电极的仿真研究 | 第24-42页 |
| 3.1 引言 | 第24页 |
| 3.2 施瓦兹-克利斯多菲变换 | 第24-25页 |
| 3.3 双面电极型静电吸附电极的吸附电容分析 | 第25-29页 |
| 3.3.1 共面双面电极型吸附电极的吸附电容计算 | 第25-27页 |
| 3.3.2 双极性电极的吸附电容体系和影响因素解析 | 第27-29页 |
| 3.4 镶嵌静电吸附电极吸附电容分析 | 第29-36页 |
| 3.4.1 镶嵌静电吸附电极吸附电容计算 | 第29-33页 |
| 3.4.2 镶嵌静电吸附电极电场分析 | 第33-36页 |
| 3.5 静电吸附电极综合实验研究 | 第36-40页 |
| 3.5.1 镶嵌电极电极占空比影响分析实验 | 第36-38页 |
| 3.5.2 双极型静电吸附电极吸附性能测试实验 | 第38-40页 |
| 3.6 小结 | 第40-42页 |
| 第4章 高压发生器的闭环控制方法研究 | 第42-49页 |
| 4.1 引言 | 第42页 |
| 4.2 高压发生器升压电路设计 | 第42-44页 |
| 4.3 控制方法研究 | 第44-46页 |
| 4.3.1 控制系统搭建 | 第45页 |
| 4.3.2 恒压闭环控制 | 第45-46页 |
| 4.4 PCB电路板的布局与制作 | 第46-48页 |
| 4.5 小结 | 第48-49页 |
| 第5章 静电吸附抓手的实物设计及性能测评 | 第49-55页 |
| 5.1 引言 | 第49页 |
| 5.2 刚性静电抓手设计及实验 | 第49-52页 |
| 5.2.1 刚性静电吸附抓手设计 | 第49-50页 |
| 5.2.2 刚性静电吸附抓手整体性能实验 | 第50-52页 |
| 5.3 柔性静电抓手的设计及测试 | 第52-54页 |
| 5.3.1 整体机构设计方案 | 第52-53页 |
| 5.3.2 原理样机物件抓取能力测试实验 | 第53-54页 |
| 5.4 小结 | 第54-55页 |
| 结论 | 第55-57页 |
| 致谢 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-62页 |
| 作者简介 | 第62页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文和科研成果 | 第62-63页 |