| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 引言 | 第9-17页 |
| ·MEMS技术 | 第9-10页 |
| ·微悬臂梁和微悬臂梁的工作方式 | 第10-12页 |
| ·生物免疫传感器 | 第12-16页 |
| ·论文内容 | 第16-17页 |
| 2 微悬臂梁的电化学系统理论研究 | 第17-28页 |
| ·循环伏安法 | 第17-18页 |
| ·固-液界面的表面应力的理论基础 | 第18-23页 |
| ·固-液界面的表面应力的理论模拟 | 第23-28页 |
| 3 微悬臂梁电化学传感器表面应力及生化应用 | 第28-47页 |
| ·测试平台构建 | 第28-33页 |
| ·电化学反应过程中的表面应力研究 | 第33-42页 |
| ·实验 | 第33-37页 |
| ·实验结果讨论及分析 | 第37-42页 |
| ·微悬臂梁电化学免疫传感器应用初探 | 第42-47页 |
| 4 集成微悬臂梁电化学芯片 | 第47-56页 |
| ·集成微悬臂梁电化学芯片设计 | 第47-49页 |
| ·集成微悬臂梁电化学芯片制作 | 第49-56页 |
| 5 结论以及展望 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |