| 摘要 | 第5-7页 |
| abstract | 第7-9页 |
| 第一章 绪论 | 第13-25页 |
| 1.1 课题概述 | 第13-14页 |
| 1.1.1 课题来源 | 第13页 |
| 1.1.2 选题的背景及研究意义 | 第13-14页 |
| 1.2 国内外研究现状及发展趋势 | 第14-23页 |
| 1.2.1 椭偏测量技术的国内外研究现状 | 第14-19页 |
| 1.2.2 弹光调制及快速椭偏测量技术发展概况 | 第19-22页 |
| 1.2.3 椭偏测量技术的应用发展趋势 | 第22-23页 |
| 1.3 本论文的主要研究目标及内容 | 第23-25页 |
| 第二章 快轴可调弹光调制理论研究 | 第25-43页 |
| 2.1 弹光调制理论研究 | 第25-36页 |
| 2.1.1 偏振光基础 | 第25-29页 |
| 2.1.2 晶体弹光效应与偏振调制理论 | 第29-36页 |
| 2.2 快轴可调弹光调制理论模型 | 第36-41页 |
| 2.2.1 FaaPEM结构设计及应力分析 | 第37-39页 |
| 2.2.2 纯驻波和纯行波偏振调制理论 | 第39-41页 |
| 2.3 本章小结 | 第41-43页 |
| 第三章 FaaPEM设计及其偏振调制实验研究 | 第43-66页 |
| 3.1 FaaPEM光学头设计 | 第43-50页 |
| 3.1.1 晶体材料选择及频率匹配仿真 | 第43-47页 |
| 3.1.2 FaaPEM光学头研制 | 第47-50页 |
| 3.2 FaaPEM驱动控制系统设计 | 第50-56页 |
| 3.2.1 驱动控制系统的理论设计与仿真 | 第50-54页 |
| 3.2.2 驱动控制系统研制及测试 | 第54-56页 |
| 3.3 FaaPEM的偏振调制实验研究 | 第56-65页 |
| 3.3.1 偏振调制实验理论分析 | 第56-59页 |
| 3.3.2 纯驻波偏振调制实验 | 第59-62页 |
| 3.3.3 纯行波偏振调制实验 | 第62-65页 |
| 3.4 本章小结 | 第65-66页 |
| 第四章 快轴可调弹光调制型椭偏测量系统设计与性能测试 | 第66-95页 |
| 4.1 椭偏测量理论分析 | 第66-77页 |
| 4.1.1 偏振光的反射和透射 | 第66-74页 |
| 4.1.2 椭偏参量随薄膜厚度变化仿真 | 第74-77页 |
| 4.2 快轴可调弹光调制型椭偏测量系统理论设计 | 第77-80页 |
| 4.3 椭偏测量系统的数据处理研究 | 第80-86页 |
| 4.3.1 椭偏测量的数字锁相数据处理 | 第80-84页 |
| 4.3.2 误差仿真分析 | 第84-86页 |
| 4.4 椭偏测量系统性能测试 | 第86-93页 |
| 4.4.1 椭偏测量系统搭建 | 第86-88页 |
| 4.4.2 系统定标及性能测试 | 第88-93页 |
| 4.5 本章小结 | 第93-95页 |
| 第五章 快轴可调弹光调制型椭偏测量系统的生物传感应用研究 | 第95-112页 |
| 5.1 生物分子互作用膜层等效光学模型 | 第95-98页 |
| 5.2 椭偏生物传感系统设计 | 第98-103页 |
| 5.3 椭偏生物传感实验研究 | 第103-111页 |
| 5.3.1 实验试剂 | 第103页 |
| 5.3.2 硅基底功能化修饰 | 第103-104页 |
| 5.3.3 实验分析 | 第104-111页 |
| 5.4 本章小结 | 第111-112页 |
| 第六章 总结与展望 | 第112-116页 |
| 6.1 本论文完成的主要研究工作 | 第112-113页 |
| 6.2 本论文的主要成果及创新点 | 第113-114页 |
| 6.3 待拓展的研究工作 | 第114-116页 |
| 参考文献 | 第116-128页 |
| 攻读博士学位期间获得的研究成果及参加的科研项目 | 第128-131页 |
| 一、以第一作者发表的代表性学术论文 | 第128-129页 |
| 二、申请或授权发明专利 | 第129-130页 |
| 三、主持的科研项目 | 第130页 |
| 四、参与的科研项目 | 第130-131页 |
| 致谢 | 第131页 |