| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第11-16页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第11-12页 |
| 1.2 结构安排 | 第12-14页 |
| 参考文献 | 第14-16页 |
| 第二章 光通信中高速大功率光探测器 | 第16-38页 |
| 2.1 光纤通信系统发展趋势 | 第16-18页 |
| 2.2 高速大功率光电探测器的研究进展 | 第18-26页 |
| 2.2.1. 高速高饱和光电探测器的研究进展 | 第20-23页 |
| 2.2.2. 大功率单行载流子光电探测器的研究进展 | 第23-26页 |
| 2.3 单行载流子光探测器的原理 | 第26-28页 |
| 2.4 UTC-PD的性能参数 | 第28-32页 |
| 2.4.1. 光电转换效率 | 第28页 |
| 2.4.2. 介电弛豫时间 | 第28-29页 |
| 2.4.3. 响应速度和带宽 | 第29-30页 |
| 2.4.4. 噪声特性和暗电流 | 第30-32页 |
| 2.5 UTC-PD小信号模型分析 | 第32-34页 |
| 2.6 本章小结 | 第34-35页 |
| 参考文献 | 第35-38页 |
| 第三章 高速大功率UTC-PD的性能优化 | 第38-63页 |
| 3.1 UTC-PD的仿真模型 | 第38-47页 |
| 3.1.1. 三大基本方程 | 第39页 |
| 3.1.2. 数值解方法 | 第39-40页 |
| 3.1.3. 物理模型 | 第40-44页 |
| 3.1.4. 材料参数 | 第44-47页 |
| 3.2 UTC-PD外延层结构的优化与设计 | 第47-52页 |
| 3.2.1. 吸收层的优化设计 | 第48-50页 |
| 3.2.2. 崖层的优化设计 | 第50-51页 |
| 3.2.3. 收集层的优化设计 | 第51-52页 |
| 3.3 UTC-PD性能的分析与研究 | 第52-59页 |
| 3.3.1. 高速响应特性分析 | 第52-55页 |
| 3.3.2. 响应度与量子效率特性分析 | 第55-56页 |
| 3.3.3. 饱和电流特性分析 | 第56-57页 |
| 3.3.4. 大功率特性分析 | 第57-58页 |
| 3.3.5. 暗电流特性分析 | 第58-59页 |
| 3.4 本章小结 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-63页 |
| 第四章 双吸收层UTC-PD的研究与分析 | 第63-70页 |
| 4.1 双吸收层光探测器的性能分析 | 第63-65页 |
| 4.2 双吸收层与单吸收层UTC-PD的对比分析 | 第65-68页 |
| 4.2.1. 响应度对比分析 | 第66-67页 |
| 4.2.2. 高速特性对比分析 | 第67-68页 |
| 4.3 本章小结 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-70页 |
| 第五章 光探测器的后工艺制备与性能测试 | 第70-83页 |
| 5.1 光探测器的外延生长 | 第70-71页 |
| 5.2 外延片的质量测试与分析 | 第71-73页 |
| 5.2.1. XRD测试与分析 | 第71-72页 |
| 5.2.2. ECV测试与分析 | 第72-73页 |
| 5.3 光探测器的后工艺制备 | 第73-77页 |
| 5.4 光探测器的性能测试 | 第77-80页 |
| 5.4.1. 暗电流测试 | 第77-78页 |
| 5.4.2. 响应度与量子效率测试 | 第78-79页 |
| 5.4.3. 频率响应测试 | 第79-80页 |
| 5.5 本章小结 | 第80-82页 |
| 参考文献 | 第82-83页 |
| 致谢 | 第83-85页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第85页 |