SU-8胶光弹性微力传感器的研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 1 绪论 | 第10-28页 |
| 1.1 课题背景及意义 | 第10-11页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第11-26页 |
| 1.2.1 微力传感器的研究现状 | 第11-20页 |
| 1.2.2 光测弹性力学的研究现状 | 第20-26页 |
| 1.3 本文的研究内容 | 第26-28页 |
| 2 光弹性法的理论基础 | 第28-36页 |
| 2.1 光弹性法的机理 | 第28-32页 |
| 2.1.1 光的本性 | 第28-29页 |
| 2.1.2 自然光与偏振光 | 第29-30页 |
| 2.1.3 偏振片与波片 | 第30-31页 |
| 2.1.4 应力光学定律 | 第31-32页 |
| 2.2 斯托克斯参量与穆勒矩阵 | 第32-34页 |
| 2.3 SU-8胶简介 | 第34-35页 |
| 2.4 本章小结 | 第35-36页 |
| 3 基于光弹性原理的微力测量方案 | 第36-42页 |
| 3.1 光弹性微力传感器原型设计 | 第36-37页 |
| 3.2 光弹性微力测量方案 | 第37-41页 |
| 3.2.1 测量光路的设计 | 第37-40页 |
| 3.2.2 测量光路的公式推导 | 第40-41页 |
| 3.3 本章小结 | 第41-42页 |
| 4 SU-8胶光弹性性能显微测试 | 第42-55页 |
| 4.1 显微测量光路设计与公式推导 | 第42-45页 |
| 4.1.1 测量光路的设计 | 第42-44页 |
| 4.1.2 光弹性系数公式的推导 | 第44-45页 |
| 4.2 SU-8胶试样的制备 | 第45-48页 |
| 4.3 SU-8胶的实验过程与结果分析 | 第48-54页 |
| 4.3.1 显微测试装置搭建与拉伸实验 | 第48-51页 |
| 4.3.2 实验数据处理与结果分析 | 第51-54页 |
| 4.4 本章小结 | 第54-55页 |
| 5 SU-8胶光弹性微力传感器制作与性能测试 | 第55-71页 |
| 5.1 微力传感器的设计与仿真 | 第55-59页 |
| 5.1.1 微力传感器的结构设计 | 第55-56页 |
| 5.1.2 微力传感器的仿真 | 第56-59页 |
| 5.2 微力传感器的制作 | 第59-61页 |
| 5.3 微力传感器微力测量公式的推导 | 第61-64页 |
| 5.4 光弹性微力传感器测力性能检测实验 | 第64-70页 |
| 5.4.1 微力传感器实验设备的搭建 | 第64-66页 |
| 5.4.2 微力传感器测力性能检测实验 | 第66-67页 |
| 5.4.3 微力传感器性能分析 | 第67-70页 |
| 5.5 本章小结 | 第70-71页 |
| 结论 | 第71-73页 |
| 参考文献 | 第73-77页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第77页 |
| 发明专利 | 第77-78页 |
| 致谢 | 第78-79页 |
