基于光栅莫尔条纹细分技术的精密测量系统的设计
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-19页 |
| 1.1 课题来源及研究意义 | 第10-11页 |
| 1.1.1 课题来源 | 第10页 |
| 1.1.2 光栅精密测量的意义 | 第10-11页 |
| 1.2 光栅莫尔条纹测量技术发展现状 | 第11-12页 |
| 1.3 光栅莫尔条纹主流细分技术 | 第12-17页 |
| 1.3.1 四细分技术 | 第12-13页 |
| 1.3.2 电阻链细分技术 | 第13-14页 |
| 1.3.3 幅值分割电子细分技术 | 第14-16页 |
| 1.3.4 锁相倍频细分技术 | 第16页 |
| 1.3.5 CCD细分技术 | 第16-17页 |
| 1.4 细分方法的比较 | 第17-18页 |
| 1.5 本文研究的主要内容 | 第18-19页 |
| 第2章 幅值采样电子细分方法研究 | 第19-30页 |
| 2.1 光栅莫尔条纹的产生与应用 | 第19-21页 |
| 2.1.1 光栅莫尔条纹信号的形成原理 | 第19-20页 |
| 2.1.2 光栅莫尔条纹的测量原理 | 第20-21页 |
| 2.2 光栅莫尔条纹电子细分概述 | 第21-22页 |
| 2.3 光栅莫尔条纹的粗细分及辨向 | 第22-24页 |
| 2.4 光栅莫尔条纹的精细分 | 第24-29页 |
| 2.5 本章小结 | 第29-30页 |
| 第3章 光栅莫尔条纹电子细分系统设计 | 第30-41页 |
| 3.1 细分系统的总体结构设计 | 第30页 |
| 3.2 信号前端处理部分 | 第30-32页 |
| 3.2.1 隔直电路 | 第31页 |
| 3.2.2 滤波电路 | 第31-32页 |
| 3.3 信号细分电路 | 第32-38页 |
| 3.3.1 电压跟随电路 | 第32-33页 |
| 3.3.2 过零比较电路 | 第33页 |
| 3.3.3 四细分辨向电路 | 第33-35页 |
| 3.3.4 绝对值电路 | 第35-36页 |
| 3.3.5 差动放大电路 | 第36页 |
| 3.3.6 A/D采样及运算处理电路 | 第36-38页 |
| 3.4 系统软件设计 | 第38-40页 |
| 3.4.1 CPLD管脚设计与应用 | 第38页 |
| 3.4.2 细分系统软件流程图 | 第38-40页 |
| 3.5 本章小结 | 第40-41页 |
| 第4章 实验结果与误差分析 | 第41-49页 |
| 4.1 细分系统的调试与测量 | 第41-42页 |
| 4.2 数据处理与误差分析 | 第42-48页 |
| 4.2.1 细分系统理论上的测量精度 | 第42页 |
| 4.2.2 细分系统实际测量结果及分析 | 第42-47页 |
| 4.2.3 系统示值误差分析 | 第47页 |
| 4.2.4 细分系统总体误差分析 | 第47-48页 |
| 4.3 本章小结 | 第48-49页 |
| 结论 | 第49-50页 |
| 参考文献 | 第50-53页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第53-54页 |
| 致谢 | 第54页 |
