| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-19页 |
| 1.1 课题研究背景及目的意义 | 第10-11页 |
| 1.1.1 课题来源 | 第10页 |
| 1.1.2 课题研究背景及目的意义 | 第10-11页 |
| 1.2 相关问题的国内外研究现状 | 第11-17页 |
| 1.2.1 主轴回转误差检测方法的研究现状 | 第11-14页 |
| 1.2.2 误差分离技术的研究现状 | 第14-16页 |
| 1.2.3 图像处理技术在检测领域的研究现状 | 第16-17页 |
| 1.3 主要研究内容及技术路线 | 第17-19页 |
| 1.3.1 主要研究内容 | 第17页 |
| 1.3.2 技术路线 | 第17-19页 |
| 第2章 主轴回转误差检测原理研究 | 第19-33页 |
| 2.1 主轴回转误差运动 | 第19-23页 |
| 2.1.1 主轴回转误差概述 | 第19-22页 |
| 2.1.2 主轴回转误差运动的数学表示 | 第22-23页 |
| 2.2 基于动态干涉仪主轴回转误差检测装置的搭建 | 第23-28页 |
| 2.2.1 基于动态干涉仪检测主轴回转误差的可行性分析 | 第23-27页 |
| 2.2.2 标准测试样件的优选 | 第27-28页 |
| 2.2.3 回转误差检测装置的建立 | 第28页 |
| 2.3 主轴回转误差计算模型及评定方法 | 第28-32页 |
| 2.3.1 主轴回转误差计算模型的建立 | 第28-30页 |
| 2.3.2 基于最小二乘法的回转误差评定 | 第30-32页 |
| 2.4 本章小结 | 第32-33页 |
| 第3章 光学平晶装夹结构的设计及装夹精度分析 | 第33-46页 |
| 3.1 光学平晶面形精度影响因素分析 | 第33页 |
| 3.2 光学平晶专用装调结构的设计 | 第33-37页 |
| 3.2.1 光学平晶调心结构的设计 | 第34-36页 |
| 3.2.2 光学平晶夹持结构的设计 | 第36-37页 |
| 3.3 光学平晶的装夹结构有限元分析 | 第37-45页 |
| 3.3.1 底面支撑结构的优化设计 | 第39-41页 |
| 3.3.2 底面接触材料对光学平晶面形精度的影响 | 第41-42页 |
| 3.3.3 夹持预紧力对光学平晶面形精度的影响 | 第42-44页 |
| 3.3.4 不同转速对光学平晶面形精度的影响 | 第44-45页 |
| 3.4 本章小结 | 第45-46页 |
| 第4章 像差图处理技术 | 第46-60页 |
| 4.1 像差图特征分析及滤波处理 | 第46-51页 |
| 4.1.1 像差图特征分析 | 第46-47页 |
| 4.1.2 像差图影响因素分析及滤波处理 | 第47-51页 |
| 4.2 像差图的预处理 | 第51-55页 |
| 4.2.1 像差图的去噪处理 | 第51-53页 |
| 4.2.2 像差图的形态学处理 | 第53-55页 |
| 4.3 特征区域边缘特征提取与形心坐标的计算 | 第55-59页 |
| 4.3.1 像差图边缘特征提取 | 第55-56页 |
| 4.3.2 最小外接矩形法的圆形轮廓提取 | 第56-59页 |
| 4.4 本章小结 | 第59-60页 |
| 第5章 基于动态干涉仪主轴回转误差测试实验研究 | 第60-68页 |
| 5.1 主轴回转误差测试装置 | 第60-61页 |
| 5.2 光学平晶精密调整实验 | 第61-64页 |
| 5.2.1 实验目的 | 第61-62页 |
| 5.2.2 光学平晶精密调整 | 第62-64页 |
| 5.3 基于动态干涉仪的主轴回转误差检测实验 | 第64-67页 |
| 5.3.1 回转误差检测的实验 | 第64-66页 |
| 5.3.2 实验误差分析 | 第66-67页 |
| 5.4 本章小结 | 第67-68页 |
| 结论 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-73页 |
| 攻读学位期间的研究成果 | 第73-74页 |
| 致谢 | 第74页 |